[发明专利]一种生产电子级硝酸用的吹白设备及其吹白工艺有效
申请号: | 202310923175.9 | 申请日: | 2023-07-26 |
公开(公告)号: | CN116654884B | 公开(公告)日: | 2023-09-22 |
发明(设计)人: | 张晨良;江建忠 | 申请(专利权)人: | 联仕(昆山)化学材料有限公司 |
主分类号: | C01B21/46 | 分类号: | C01B21/46;C01B21/38 |
代理公司: | 苏州中知捷兴知识产权代理事务所(普通合伙) 32709 | 代理人: | 李靖 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 生产 电子 硝酸 设备 及其 工艺 | ||
本发明涉及硝酸制备领域,公开了一种生产电子级硝酸用的吹白设备及其吹白工艺,该吹白设备包括密封的罐体,罐体立状布置,罐体内转有转轴,转轴立状布置,转轴上安装有吹白装置,吹白装置包括转盘,转盘和转轴呈垂直状分布,转盘固定安装在转轴上,转盘上装有环形导板,环形导板用于在转盘转动的过程中,将转盘上的溶液朝上引导;环形导板上的板面上布置有环形凸起和吹白机构,环形凸起用于在环形导板转动的过程中,将溶液朝上引导,环形导板位于环形凸起外侧边缘位置具有出气口,吹白机构和环形凸起一一对应分布;本发明提出的吹白设备和吹白工艺,能够实现对电子级硝酸进行连续化和自动化的吹白处理。
技术领域
本发明涉及硝酸制备领域,更具体地说,它涉及一种生产电子级硝酸用的吹白设备及其吹白工艺。
背景技术
电子级试剂又称为微电子化学品,是电子加工过程中不可缺少的关键材料之一,其纯度对所加工的电子产品的性能和可靠性起着重要的作用。电子级硝酸又称为超纯硝酸,属于超净高纯试剂,是电子行业常用的八大电子级化学材料之一,在半导体、平板显示、光伏行业蚀刻上有着很大的作用,其纯净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着直接的影响。
现有的电子级硝酸是将工业浓硝酸经精馏后得到浓度较高的硝酸,然后再用超纯水稀释。在上述稀释过程中会产生大量的呈红棕色的二氧化氮气体,这些气体很容易掺杂在硝酸溶液中,使硝酸溶液也显示出一定的颜色,因此需要对制备所得的硝酸溶液进行脱色吹白处理。现有设备和工艺对硝酸中的二氧化氮进行吹白时,吹白效率较差,不能满足现在电子级硝酸生产要求。
发明内容
为了解决上述技术问题,本发明提供一种生产电子级硝酸用的吹白设备及其吹白工艺。
其中,吹白设备包括密封的罐体,罐体立状布置,罐体内转有转轴,转轴立状布置,转轴上安装有吹白装置,吹白装置包括转盘,转盘和转轴呈垂直状分布,转盘固定安装在转轴上,转盘上装有环形导板,环形导板用于在转盘转动的过程中,将转盘上的溶液朝上引导;
环形导板上的板面上布置有环形凸起和吹白机构,环形凸起用于在环形导板转动的过程中,将溶液朝上引导,环形导板位于环形凸起外侧边缘位置具有出气口,吹白机构和环形凸起一一对应分布,吹白机构用于在转盘转动的过程中打开出气口,在转盘停转的过程中封闭出气口。
进一步地:吹白装置沿着转轴的轴向间隔分布,相邻吹白装置之间具有导液机构,导液机构用于将上一吹白装置排出的溶液引导向下一吹白装置内转盘位于环形导板内圈的位置。
进一步地:环形导板沿着转盘的径向间隔分布。
进一步地:环形凸起沿着环形导板的引导方向间隔分布。
进一步地:吹白机构包括环形板,环形板具有缺口,环形板连接调节机构,调节机构用于调节环形板转动,调节缺口和出气口对齐或错位。
进一步地:调节机构包括环形套,环形套和转盘一一对应布置,环形套转动套接在转轴上,环形套和转轴之间安装有卷簧,环形套通过A支架和各环形板连接,A支架上安装有被动杆,罐体内壁上安装有挡杆,挡杆和被动杆一一对应布置。
进一步地:环形板外侧具有海绵件,环形板和环形导板贴合的侧面具有进气口,环形板和海绵件贴合的侧面具有排气口,进气口和排气口连通,海绵件上设置有环形按压件,环形按压件连接升降机构。
进一步地:升降机构包括升降轴,转轴为空心轴,升降轴穿插在转轴内,升降轴通过B支架连接各环形按压件,转轴上开设有供B支架升降的缺口。
进一步地:转盘和环形导板中具有气道,气道和出气口连通,升降轴为空心轴,升降轴内套接有供气管,供气管和气道连接。
进一步地:导液机构包括漏斗状的集料斗和导套,导套固定安装,导套穿插在集料斗下端的开口处,集料斗和导套之间的区域构成溶液下落的区域。
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