[发明专利]转子结构及真空泵

说明书

本申请提供一种转子结构，应用于真空泵，包括：转轴；多级转子，设置在所述转轴上；其中，所述多级转子中各级转子的质心均位于所述转轴的轴线上。本申请通过使多级转子中各级转子的质心均位于转轴的轴线上，有助于减少转子结构在运行过程中的振动，从而提升转子结构转动过程中的动平衡。

技术领域

本申请涉及真空泵技术领域，具体而言，涉及一种转子结构及真空泵。

背景技术

真空相关行业是国民工业技术领域的一个重要基础行业，其广泛应用于国防科工、钢铁行业、镀膜、微电子信息、半导体、生物医药、化工、食品、环保等行业。真空设备的综合性能关系到国家整体高新技术装备的生产能力、研发能力。近些年国家资源结构的重新整合对清洁、无污染、人工智能提出了更高的要求。真空泵设备向着高品质、高效率、高自动化的方向发展成为了必然趋势。精密真空泵是泛半导体行业、化工行业、医疗医药行业所必需的真空设备，由于使用行业的特殊性，因此对真空泵的成本、装配工艺、加工工艺简单化和产品性能和功能的质量要求非常严格。

现有真空泵的转子结构在运行过程中振动较大，不利于维持转子结构转动过程中的动平衡。

发明内容

有鉴于此，本申请旨在提供一种转子结构，用以改善现有技术的转子结构在运行过程中振动较大，不利于维持转子结构转动过程中的动平衡，而且转子结构的运行稳定性较差的问题。

本申请提供一种转子结构，应用于真空泵，包括：转轴；多级转子，设置在所述转轴上；其中，所述多级转子中各级转子的质心均位于所述转轴的轴线上。

本申请所提供的转子结构，通过使多级转子中各级转子的质心均位于转轴的轴线上，有助于减少转子结构在运行过程中的振动，从而提升转子结构转动过程中的动平衡。

一实施例中，所述多级转子与所述转轴一体成型。

相较于现有技术中采用多个分体式转子结构组装而成的转子结构，本申请所提供的转子结构，由于多级转子与转轴一体成型，不同级的分体式转子结构无需通过键槽等进行连接，因此，不存在累计公差较大的问题，而且结构更为简单，还有助于提升转子结构在运行过程中的稳定性。

一实施例中，所述多级转子包括依次设置在所述转轴上的首级转子、中间级转子及末级转子，所述中间级转子的级数不小于2。

一实施例中，所述首级转子的叶片，所述中间级转子中各转子的叶片及所述末级转子的叶片错位设置。

一实施例中，所述中间级转子的转子类型相同，且所述中间级转子中的任意相邻两级转子之间旋转预设角度设置。

本申请所提供的转子结构，通过使中间级转子中任意相邻两级转子之间旋转预设角度设置，有助于保证并行设置的双转子结构之间的啮合。

一实施例中，所述中间级转子中的每一后一级转子相对于前一级转子的旋转方向均相同。

本申请所提供的转子结构，通过使中间级转子中的每一后一级转子相对于前一级转子的旋转方向均相同，有助于在转子结构转动的全过程持续保证并行设置的双转子结构之间的啮合。

一实施例中，所述首级转子、所述中间级转子及所述末级转子的转子类型不完全相同。

本申请所提供的转子结构，通过使首级转子、中间级转子及末级转子的转子类型不完全相同，有助于提升真空压缩性能。

一实施例中，所述首级转子的转子类型与所述末级转子的转子类型相同，且不同于所述中间级转子的转子类型。

一实施例中，所述首级转子及所述末级转子均为罗茨转子，所述中间级转子为爪式转子。

一实施例中，所述多级转子中的各级转子上分别设置有减重孔，所述减重孔被配置为使得所在级转子的质心位于所述转轴的轴线上。