[发明专利]一种采用SC切割石英晶体的方法在审

专利信息
申请号: 202310672246.2 申请日: 2023-06-07
公开(公告)号: CN116619602A 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 罗小平 申请(专利权)人: 万安县泰鑫电子有限责任公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04
代理公司: 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 代理人: 万敏
地址: 343800 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 采用 sc 切割 石英 晶体 方法
【权利要求书】:

1.一种采用SC切割石英晶体的方法,用于生产SC切型石英晶体,其特征在于,所述采用SC切割石英晶体的方法包括以下步骤:

S1、配制切割液,将切割原液、水、切割砂、防锈油按照一定的比例混合制成切割液;

S2、准备石英晶棒,在基板上设置四塔晶棒,并且每塔上设置三支晶棒,最后将每塔的三支晶棒进行角度匹配;

S3、最后将基板安装至切割机的工作台上,并对基板进行角度修正;

S4、将载有石英晶棒的工作台转移至线切割机中并开始切割。

2.根据权利要求1所述的一种采用SC切割石英晶体的方法,其特征在于:

所述切割液的配比为切割原液、水、切割砂、防锈油的质量分数比=33:16:50:1。

3.根据权利要求1所述的一种采用SC切割石英晶体的方法,其特征在于:

所述步骤S2包括切割前每塔3支晶棒角度按实际角度用5~10μ厚的纸进行修正。

4.根据权利要求1所述的一种采用SC切割石英晶体的方法,其特征在于:

所述步骤3包括切割前依据整板4塔共12支晶棒的整体角度情况用5~60丝的塞尺对工作台平面度进行角度修正。

5.根据权利要求1所述的一种采用SC切割石英晶体的方法,其特征在于:

所述线切割机中的罗拉每切割180小时后进行更换。

6.根据权利要求1所述的一种采用SC切割石英晶体的方法,其特征在于:

所述切割液每切割15小时后进行更换。

7.根据权利要求1所述的一种采用SC切割石英晶体的方法,其特征在于:

所述步骤S4包括先后两次旋转切割。

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