[发明专利]一种采用SC切割石英晶体的方法在审
申请号: | 202310672246.2 | 申请日: | 2023-06-07 |
公开(公告)号: | CN116619602A | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 罗小平 | 申请(专利权)人: | 万安县泰鑫电子有限责任公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 | 代理人: | 万敏 |
地址: | 343800 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 采用 sc 切割 石英 晶体 方法 | ||
1.一种采用SC切割石英晶体的方法,用于生产SC切型石英晶体,其特征在于,所述采用SC切割石英晶体的方法包括以下步骤:
S1、配制切割液,将切割原液、水、切割砂、防锈油按照一定的比例混合制成切割液;
S2、准备石英晶棒,在基板上设置四塔晶棒,并且每塔上设置三支晶棒,最后将每塔的三支晶棒进行角度匹配;
S3、最后将基板安装至切割机的工作台上,并对基板进行角度修正;
S4、将载有石英晶棒的工作台转移至线切割机中并开始切割。
2.根据权利要求1所述的一种采用SC切割石英晶体的方法,其特征在于:
所述切割液的配比为切割原液、水、切割砂、防锈油的质量分数比=33:16:50:1。
3.根据权利要求1所述的一种采用SC切割石英晶体的方法,其特征在于:
所述步骤S2包括切割前每塔3支晶棒角度按实际角度用5~10μ厚的纸进行修正。
4.根据权利要求1所述的一种采用SC切割石英晶体的方法,其特征在于:
所述步骤3包括切割前依据整板4塔共12支晶棒的整体角度情况用5~60丝的塞尺对工作台平面度进行角度修正。
5.根据权利要求1所述的一种采用SC切割石英晶体的方法,其特征在于:
所述线切割机中的罗拉每切割180小时后进行更换。
6.根据权利要求1所述的一种采用SC切割石英晶体的方法,其特征在于:
所述切割液每切割15小时后进行更换。
7.根据权利要求1所述的一种采用SC切割石英晶体的方法,其特征在于:
所述步骤S4包括先后两次旋转切割。
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