[发明专利]一种真空等离子表面处理机在审

专利信息
申请号: 202310632344.3 申请日: 2023-05-31
公开(公告)号: CN116600459A 公开(公告)日: 2023-08-15
发明(设计)人: 肖刚;林云峰;王金相 申请(专利权)人: 广州市安旭特电子有限公司
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24;B08B7/00
代理公司: 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 代理人: 曾文波
地址: 511458 广东省广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 等离子 表面 处理机
【说明书】:

发明属于等离子处理机技术领域,且公开了一种真空等离子表面处理机,包括清洁箱体内壁两侧转动设置的固定叉,两个固定叉一端固设有旋转机构;其中一个固定叉上端固设有用于驱动支撑环旋转的第二驱动机构;清洁箱体侧壁开设有用于固定第一驱动机构的设备仓,清洁箱体开口处一侧转动设有用于密封的箱门。一次性将工件进行表面处理,同时,对孔洞内部也有很好的处理效果,大大提高工作的效率,节省处理时间。

技术领域

本发明属于等离子处理机技术领域,具体是真空等离子表面处理机。

背景技术

真空等离子机表面处理机,一种用于表面处理前处理的一种工艺设备,目的是使产品表面处理的效果更好,更牢固,通过高压电场和射频电源激励氩气,氦气等气体成为等离子态基团,等离子态基团有正离子、负离子、自由基和各种活性基团等,作用到产品表面,能清除表面原有的微量污染物和杂质;此过程也会产生刻蚀作用,能够将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品表面的粗糙比例,提高了固体表面的粘合及浸润性能。

传统的真空等离子表面处理机将电极片设置在两侧,再将工件放置在电极片之间,从而进行等离子处理,直接将工件放置在承载平台上,会导致一面无法进行等离子处理,等离子处理时间正常处理较长,需要对另一面再次等离子处理,需要消耗大量的时间,降低工作下效率,同时,对工件放置在承载平台上是固定不动的,对于有些孔洞内部不能进行很好的内部处理。

发明内容

(一)解决的技术问题

为解决上述背景技术中提出的问题,本发明提供了真空等离子表面处理机,具有一次性将工件进行表面处理,同时,对孔洞内部也有很好的处理效果,大大提高工作的效率,节省处理时间的优点。

(二)技术方案

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:真空等离子表面处理机,包括清洁箱体内壁两侧转动设置的固定叉,两个所述固定叉一端固设有旋转机构;

所述旋转机构包括与固定叉两侧固设的外固定环,两个所述外固定环之间转动设有支撑环,所述支撑环内壁相对应的位置固设有用于夹持的夹持机构,其中一个所述固定叉上端固设有用于驱动支撑环旋转的第二驱动机构;

所述夹持机构包括与支撑环固设的固定套,所述固定套内部滑动设有用于固定球座的滑杆,所述球座一端可转动设有夹持架;

所述清洁箱体侧壁开设有用于固定第一驱动机构的设备仓,所述清洁箱体开口处一侧转动设有用于密封的箱门。

上述技术方案中,优选的,所述夹持机构还包括开设在所述球座一端的球槽,所述球槽内活动设有半球,所述半球一端与夹持架之间固接有固定柱,所述球槽与半球相互限位。

上述技术方案中,优选的,所述夹持架两侧开设有纵滑槽,两个所述纵滑槽内部滑动设有与上U型夹板固定的滑块,所述夹持架下端固设有与上U型夹板相对应的下夹板,所述下夹板与上U型夹板之间夹持有工件10。

上述技术方案中,优选的,所述上U型夹板上端与夹持架之间固设有电缸,所述球座下端固设有用于夹持架定位的限位板,所述下夹板与上U型夹板相对的一侧均粘贴固定有用于防滑的橡胶垫。

上述技术方案中,优选的,所述固定套内腔底部固设有用于驱动的第三伺服电机,所述第三伺服电机的输出轴通过联轴器连接有螺杆,且螺杆与滑杆中部螺纹设置。

上述技术方案中,优选的,所述旋转机构还包括开设在两个所述外固定环一侧的环槽,所述环槽内部转动设有与支撑环两侧固设的限位环,所述支撑环外侧周围固设有外齿圈,所述固定叉一侧开设有用于容纳旋转机构的固定槽,所述固定槽内壁两侧与两个所述外固定环固接。

上述技术方案中,优选的,所述第二驱动机构包括与所述固定叉表面固接的第二伺服电机,所述第二伺服电机的输出轴活动贯穿固定叉侧壁并固接有与外齿圈啮合的驱动齿轮。

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