[发明专利]一种用于液体速率检测的可穿戴传感器及制备方法

权利要求书

1.一种用于液体速率检测的可穿戴传感器，其特征在于，包括：

传感器层，包括基底、设置于所述基底一侧表面上的流速传感器以及电解质传感器，所述流速传感器具有悬臂梁结构，悬臂梁结构凸出于所述传感器层一侧的表面外；

流道层，流道层与所述传感器层的一侧紧密贴合，所述流速传感器的悬臂梁结构在所述流道层的流道内部；

粘附层，粘附层与所述流道层的另一侧紧密贴合。

2.根据权利要求1所述的用于液体速率检测的可穿戴传感器，其特征在于，所述电解质传感器暴露于所述流道内，所述流道层内设有液体入口以及排液出口，液体入口与流道层的流道连通。

3.根据权利要求2所述的用于液体速率检测的可穿戴传感器，其特征在于，所述粘结层具有液体收集腔，液体收集腔的中心轴线与所述液体入口的中心轴线重合。

4.根据权利要求1所述的用于液体速率检测的可穿戴传感器，其特征在于，所述流速传感器为具有仿鱼侧线的表神经丘悬臂梁结构的弯曲应变传感器，液体流过流速传感器，即引起所述流速传感器的悬臂梁结构发生不同挠度的弯曲应变，弯曲应变的大小与流速大小呈正相关性，所述电解质传感器为插指电极。

5.根据权利要求4所述的用于液体速率检测的可穿戴传感器，其特征在于，流速传感器的插指电极表面区域涂布纳米敏感材料。

6.根据权利要求5所述的用于液体速率检测的可穿戴传感器，其特征在于，纳米敏感材料上涂布绝缘防水材料。

7.根据权利要求6所述的用于液体速率检测的可穿戴传感器，其特征在于，流速传感器的插指电极区域的三边边缘切开且一端翘起，形成悬臂梁结构。

8.根据权利要求7所述的用于液体速率检测的可穿戴传感器，其特征在于，所述流道层与传感器层的传感器一侧通过化学共价交联的方法紧密贴合。

9.一种可穿戴传感器的制备方法，其特征在于，包括制备传感器层，传感器层制备包括：

S1：在柔性基底上制备出具有流道尺寸的插指电极结构和电极连接线；

S2：在流速传感器的插指电极表面区域涂布一层纳米敏感材料，再在纳米敏感材料上涂布一薄层绝缘防水材料，形成弯曲应变挠度传感器；

S3：除流速传感器和电解质传感器的插指区域，以及电极连接线区域，其他区域的电极导体表面覆盖一层绝缘层；

S4：将流速传感器的插指电极区域切开，撬起插指电极，形成悬臂梁结构。

10.根据权利要求9所述的可穿戴传感器的制备方法，其特征在于，流道层与传感器层的传感器一侧通过化学共价交联的方法紧密贴合，化学共价交联方法包括：

配制3-氨丙基三乙氧基硅烷水溶液待用，将传感器层1的传感器一侧清理后放入上述水溶液中浸泡，取出后吹干；

将流道层与上述处理后的传感器层对齐贴合在一起，并加热处理。