[发明专利]一种用于电压数据监测的智能预警系统及方法有效
申请号: | 202310595305.0 | 申请日: | 2023-05-25 |
公开(公告)号: | CN116298482B | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 刘伟;付强;郏金鹏 | 申请(专利权)人: | 常州满旺半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01R19/165 | 分类号: | G01R19/165 |
代理公司: | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人: | 李帅 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 电压 数据 监测 智能 预警系统 方法 | ||
本发明公开了一种用于电压数据监测的智能预警系统及方法,属于电压数据监测技术领域。本系统包括电压监测数据采集模块、电压暂降分析模块、资源分析模块以及数据预警模块;所述电压监测数据采集模块的输出端与所述电压暂降分析模块的输入端相连接;所述电压暂降分析模块的输出端与所述资源分析模块的输入端相连接;所述资源分析模块的输出端与所述数据预警模块的输入端相连接。本发明能够实现对于电压暂降持续时间的具体分析,基于不同的监测分析处理,判断持续时间的变化情况,同时根据对电压暂降的预防处理措施,实现储备资源的规划和调度。
技术领域
本发明涉及电压数据监测技术领域,具体为一种用于电压数据监测的智能预警系统及方法。
背景技术
近年,半导体芯片制造业在国民经济中的作用越来越大,伴随着政府和相关企业单位在半导体制造业的投资不断增加,集成电路芯片制造生产过程中大规模使用电子器件和集成电路,而且自动化程度比较高。在整个加工工序中,存在大量的控制系统,例如基础的供配电系统,还包括空调系统、传送系统、特殊气体处理系统以及超纯水、真空等等,而且在半导体整个加工工序中设备繁多、工位器具多、工艺步骤繁多复杂,制造设备昂贵、性能精密,对供电电压波动极其敏感,毫秒级的电压波动,足以使得半导体工厂的工艺设备发生停机从而导致生产中断,造成巨大的直接和间接经济损失。
其中电压暂降问题一直影响着半导体行业生产的安全可靠性,电压暂降是指供电电压有效值RMS在短时间内突然大幅下降又恢复正常的现象。造成电压暂降事件的原因很复杂。有自然因素也有人为因素。有供电部门系统保护的因素,也有用户系统内设施故障或误操作的因素。如:雷击时造成的绝缘子闪络或对地放电会使保护装置动作。从而导致供电电压暂降,而不是过电压;大功率设备全电压启动时。启动电流为满载运行时的5至10倍。这一大电流流过系统阻抗时,会引起电压突然下降;整个电网结构中某一处发生短路故障,系统保护装置切除故障、重合闸的过程中,故障线路上的用户和相邻出线用户都将遭受电压暂降。
半导体制造业在面对电压暂降的故障问题上,虽然尝试了各种各样的方式,但依然无法消除影响,电压暂降持续时间一般定义为持续10ms-1min,不同的持续时间往往会造成不同的实际影响,如果一味根据最大影响建立预防措施,常常造成人力物力资源大幅度浪费,因此如何根据历史故障数据建立合适的补救措施是当前行业亟待解决的问题之一。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于电压数据监测的智能预警系统及方法,以解决上述背景技术中提出的问题。
为了解决上述技术问题,本发明提供如下技术方案:一种用于电压数据监测的智能预警方法,该方法包括以下步骤:
S1、获取监测区域内的历史电压监测数据,调取历史电压监测数据中电压暂降报告数据;
S2、获取电压暂降报告数据中的电压暂降持续时间,基于电压暂降持续时间构建时间分析模型,输出预测下一周期的电压暂降持续时间;
S3、获取电压暂降报告数据中的每一次电压暂降造成的实际资源消耗与电压暂降的储备资源数据,计算相邻资源浪费占比数据值之间的差值,形成差值数据组,若存在差值数据组中,正值数量比负值数量高D1倍以上,选取正值数据拟合成学习函数关系;若存在差值数据组中,正值数量未比负值数量高D1倍以上,选取差值数据组中所有数据的绝对值求取平均值作为资源浪费占比输出,其中,D1代表系统预设数量值;
S4、基于预测的下一周期的电压暂降持续时间,对电压暂降的储备资源数据进行调节预警,输出至管理员端口。
根据上述技术方案,在步骤S2中,获取电压暂降报告数据中的电压暂降持续时间,构建电压暂降持续原则对电压暂降报告数据中的电压暂降持续时间进行分类,所述持续原则包括短持续与长持续;构建持续时间阈值m,超出时间阈值m的电压暂降持续时间记为长持续,不超过时间阈值m的电压暂降持续时间记为短持续。
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