[发明专利]一种用于光掩膜的石英基板材料及其制备方法

权利要求书

1.一种用于光掩膜的石英基板材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：对石英玻璃表面进行研磨切削，超声清洗并真空干燥，测量石英玻璃的平整度；

步骤二：将石英玻璃精雕加工，超声清洗并真空干燥，得到玻璃基板(33)，检测玻璃基板(33)并剔除有超标缺陷的玻璃基板(33)；

步骤三：对没有超标缺陷的玻璃基板(33)表面进行抛亮处理，采用连续超声清洗的方式对玻璃基板(33)表面进行清洁，然后测量玻璃基板(33)的总厚度变化和局部平整度；

步骤四：采用单面抛光机对玻璃基板(33)进行粗抛光和精抛光，检测玻璃基板(33)是否有超标缺陷；对有超标缺陷的玻璃基板(33)重新进行粗抛光，对没有超标缺陷的玻璃基板(33)进行旋转清洗和真空干燥，完成光掩膜的石英基板材料的制备。

2.根据权利要求1所述的一种用于光掩膜的石英基板材料的制备方法，其特征在于，所述研磨切削时砂轮的切削线速度为10-40m/s，砂轮径向单次进量为0.1-0.4μm。

3.根据权利要求1所述的一种用于光掩膜的石英基板材料的制备方法，其特征在于，所述超声清洗的频率为100-150KHz。

4.根据权利要求1所述的一种用于光掩膜的石英基板材料的制备方法，其特征在于，所述真空干燥的温度为40-60℃。

5.根据权利要求1所述的一种用于光掩膜的石英基板材料的制备方法，其特征在于，所述单面抛光机包括台面(1)，台面(1)上还设置有喷洒抛光液的喷头(4)和固定石英玻璃用的固定器(3)。

6.根据权利要求5所述的一种用于光掩膜的石英基板材料的制备方法，其特征在于，所述固定器(3)包括升降机构(301)，升降机构(301)的上端固定有连接杆(302)，连接杆(302)远离升降机构(301)的一端的上部固定有电机，连接杆(302)远离升降机构(301)的一端的下部转动连接有转轴(30)，电机的输出轴与转轴(30)固定连接；转轴(30)远离电机的一端固定有固定盘(31)，固定盘(31)底面粘贴有吸附玻璃基板(33)用的吸附垫(32)。

7.根据权利要求6所述的一种用于光掩膜的石英基板材料的制备方法，其特征在于，所述固定盘(31)上端设置有冷却机构，冷却机构包括保护罩(36)，固定盘(31)上端还环形阵列设置有散热翅片(34)，保护罩(36)四周开设有供散热翅片(34)穿过的散热口(38)，散热翅片(34)上设置有冷却盘管(35)；保护罩(36)内一侧固定有驱动冷却盘管(35)内冷却液循环用的循环泵，另一侧固定有平衡块(39)。

8.根据权利要求7所述的一种用于光掩膜的石英基板材料的制备方法，其特征在于，所述冷却盘管(35)上设置有补充冷却液用的加液口(37)。

9.一种用于光掩膜的石英基板材料，其特征在于，通过权利要求1-8中任意一项制备方法制得。