[发明专利]一种激光脉宽在线稳定装置及方法

权利要求书

1.一种激光脉宽在线稳定装置，其特征在于：包括依次设置在入射激光(01)所在光路上的脉宽展宽模块(1)、脉宽压缩模块(2)、激光检测模块(3)以及控制器；

所述脉宽展宽模块(1)包括两个第一调节平台和分别设置在两个第一调节平台作用端的两个正色散啁啾镜(11)；两个所述正色散啁啾镜(11)相对且平行设置在入射激光(01)的光路上；两个第一调节平台用于对应调节两个正色散啁啾镜(11)的角度，进而调节激光光束在两个正色散啁啾镜(11)之间的反射次数；

所述脉宽压缩模块(2)包括第二调节平台和分别设置在两个第二调节平台作用端的两个负色散光栅(21)；两个所述负色散光栅(21)相对且平行设置于脉宽展宽模块(1)的出射光路上；两个第二调节平台用于对应调节两个负色散光栅(21)的角度和/或距离；

所述激光检测模块(3)包括分束镜(31)和探测器(32)；所述分束镜(31)设置在脉宽压缩模块(2)的出射光路上，用于将经过脉宽展宽模块(1)和脉宽压缩模块(2)之后的激光光束分为检测激光(02)和加工激光(03)；所述探测器(32)设置在检测激光(02)所在光路上，用于实时检测；

所述控制器分别与两个第一调节平台、两个第二调节平台以及探测器(32)连接，用于根据探测器(32)探测的激光信号控制两个第一调节平台和两个第二调节平台对加工激光(03)进行调节。

2.根据权利要求1所述的激光脉宽在线稳定装置，其特征在于：所述脉宽展宽模块(1)还包括两个第三调节平台和分别设置在两个第三调节平台作用端的平移量补偿镜(12)，平移量补偿镜(12)依次位于经两个正色散啁啾镜(11)后的光路上，用于平移经过两个正色散啁啾镜(11)后的激光光轴；两个所述第三调节平台均与所述控制器连接。

3.根据权利要求2所述的激光脉宽在线稳定装置，其特征在于：两个所述平移量补偿镜(12)为一对光楔或一对平行平板镜。

4.根据权利要求1或2或3所述的激光脉宽在线稳定装置，其特征在于：所述脉宽压缩模块(2)还包括高低镜(22)、第一反射镜(23)和第二反射镜(24)；

所述高低镜(22)和第一反射镜(23)分别位于两个负色散光栅(21)的两侧，且分别位于经两个负色散光栅(21)反射的激光光束所在光路上；所述第二反射镜(24)位于经高低镜(22)反射的激光光束所在光路上；使得经脉宽展宽模块(1)后的激光光束依次经过两个负色散光栅(21)、第一反射镜(23)、两个所述负色散光栅(21)、高低镜(22)和第二反射镜(24)到达分束镜(31)，且入射激光(01)与加工激光(03)的方向相同。

5.根据权利要求4所述的激光脉宽在线稳定装置，其特征在于：所述第一反射镜(23)为立方角锥反射棱镜；

所述第二反射镜(24)为平面反射镜。

6.根据权利要求5所述的激光脉宽在线稳定装置，其特征在于：所述探测器(32)为双光子光电探测器或多光子光电探测器；

所述第一调节平台、第二调节平台均为电动位移平台。