[发明专利]一种一体化吸附电极

权利要求书

1.一种一体化吸附电极，包括电极（7）和真空泵（5），其特征在于，所述电极（7）外侧设置吸附碗，所述吸附碗包括吸附部（1）、连接部（2）和底部（3），所述吸附部（1）为柔性材质制成的倒置的碗状结构，吸附部（1）的敞口位置设置底部（3），所述底部（3）为截面呈半圆形的环状结构；

吸附部（1）的上部设置连接部（2），所述连接部（2）呈圆环柱状结构，连接部（2）的内部固定设置有中轴（4），所述中轴（4）为阶梯圆柱状结构，中轴（4）的小径端设置于连接部（2）内部，中轴（4）的大径端设置于吸附部（1）内部，中轴（4）内部设置有排气孔，中轴（4）的上端设置真空泵（5），所述真空泵（5）与排气孔连通，真空泵（5）设置于连接部（2）内，连接部（2）对应真空泵（5）的排气口设置有风道（6）；

中轴（4）大径端的底面中部设置有电极（7）和压力传感器（8），中轴（4）开设有过线孔（17）；

所述连接部（2）的上端设置有封盖（9）。

2.根据权利要求1所述的一种一体化吸附电极，其特征在于，所述中轴（4）的大径端两侧与吸附部（1）之间设置有限位环（10），所述限位环（10）为阶梯环面结构，限位环（10）与中轴（4）的大径端侧面接触，限位环（10）与吸附部（1）为一体化结构。

3.根据权利要求1所述的一种一体化吸附电极，其特征在于，所述排气孔包括第一排气段（11）、第二排气段（12）、第三排气段（13）和第四排气段（14），所述第一排气段（11）呈环形设置于中轴（4）的大径端与吸附部（1）之间；

所述第二排气段（12）与第一排气段（11）连通，第二排气段（12）呈圆环状结构，设置于中轴（4）小径端侧部；

所述第三排气段（13）与第二排气段（12）连通，第三排气段（13）为圆柱状结构，第三排气段（13）横贯中轴（4）小径端的中部；

所述第四排气段（14）与第三排气段（13）连通，第四排气段（14）为楔形结构，第四排气段（14）纵向设置于小径端的中部，第四排气段（14）与真空泵（5）连通。

4.根据权利要求3所述的一种一体化吸附电极，其特征在于，靠近所述中轴（4）的大径端边缘位置在吸附部（1）上开设有环形槽（15），所述环形槽（15）与第一排气段（11）连通。

5.根据权利要求1所述的一种一体化吸附电极，其特征在于，所述真空泵（5）连接有电磁阀（16），所述电磁阀（16）设置于连接部（2）内，电磁阀（16）与排气孔连通；

真空泵（5）、电磁阀（16）、中轴（4）、电极（7）和压力传感器（8）之间固定连接且与连接部（2）固定。

6.根据权利要求1所述的一种一体化吸附电极，其特征在于，所述过线孔（17）纵向穿过中轴（4），过线孔（17）为圆形通孔，过线孔（17）与排气孔错位开设，所述电极（7）和压力传感器（8）的导线从过线孔（17）穿出。

7.根据权利要求6所述的一种一体化吸附电极，其特征在于，所述连接部（2）侧部开设有出线孔，所述出线孔靠近真空泵（5）位置开设，出线孔位置设置护线套（18），所述护线套（18）与连接部（2）固定。

8.根据权利要求1所述的一种一体化吸附电极，其特征在于，所述封盖（9）为下端敞口，上端封闭的桶状结构，所述封盖（9）、吸附部（1）、连接部（2）和底部（3）为一体化结构。

9.根据权利要求1所述的一种一体化吸附电极，其特征在于，所述电极（7）内嵌于中轴（4）大径端的底面中部位置。