[发明专利]一种基于短管碳纳米管纳米膜的混合波导滤波器及其制备方法

权利要求书

1.一种基于短管碳纳米管纳米膜的混合波导滤波器，其特征在于，包括：

单模光纤，包括一光纤端面，所述单模光纤用于接收经过谐振增强的光信号，并进行输出；

直波导，设置在所述光纤端面上，用于传输光信号；

微环波导，设置在所述光纤端面上，并与所述直波导间存在一耦合间隙，所述微环波导根据特定波长对通过所述直波导的光信号进行选择，并对选择的光信号进行谐振增强，所述微环波导上涂敷有短管碳纳米管纳米膜，用于吸收热量。

2.根据权利要求1所述的基于短管碳纳米管纳米膜的混合波导滤波器，其特征在于，所述短管碳纳米管纳米膜涂敷在所述微环波导远离所述直波导的半个微环波导表面上。

3.根据权利要求1所述的基于短管碳纳米管纳米膜的混合波导滤波器，其特征在于，所述直波导包括一输入端和一输出端，所述输入端用于接收光信号，所述输出端用于输出光信号。

4.根据权利要求3所述的基于短管碳纳米管纳米膜的混合波导滤波器，其特征在于，所述微环波导和所述直波导基于所述耦合间隙形成一耦合区，当光信号从所述直波导的输入端进入到达所述耦合区时，特定波长的光信号会向所述微环波导耦合，并沿着所述微环波导传播，而剩下的光信号则从所述直波导的输出端输出。

5.根据权利要求4所述的基于短管碳纳米管纳米膜的混合波导滤波器，其特征在于，所述微环波导包括一环形腔，所述特定波长的光信号沿着所述微环波导传播一周后，在所述环形腔内产生谐振增强。

6.根据权利要求1-5任一项所述的基于短管碳纳米管纳米膜的混合波导滤波器，其特征在于，所述直波导的高度和宽度为3-5μm，所述微环波导的高度和宽度与所述直波导保持一致。

7.根据权利要求1-5任一项所述的基于短管碳纳米管纳米膜的混合波导滤波器，其特征在于，所述微环波导的内径为13-17μm，外径为16-20μm。

8.根据权利要求1-5任一项所述的基于短管碳纳米管纳米膜的混合波导滤波器，其特征在于，所述耦合间隙为0.3-0.5μm。

9.一种基于短管碳纳米管纳米膜的混合波导滤波器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一单模光纤，并对所述单模光纤进行切割获得一平滑的光纤端面；

将所述光纤端面浸于光刻胶内，并进行激光直写，在所述光纤端面上制造出具有耦合间隙的直波导和微环波导；

对所述直波导和所述微环波导进行清洗，将所述直波导以及靠近所述直波导的半个微环波导进行遮挡后，在所述微环波导表面上喷涂短管碳纳米管溶液，在远离所述直波导的半个微环波导表面上形成短管碳纳米管纳米膜，得到所述混合波导滤波器。

10.根据权利要求9所述的基于短管碳纳米管纳米膜的混合波导滤波器的制备方法，其特征在于，在所述微环波导表面上喷涂短管碳纳米管溶液时，包括：

将短管碳纳米管和无水乙醇初步混合后，利用超声波进行震荡混合，形成浓度为0.001-0.003mg/ml的短管碳纳米管溶液，利用喷壶在距离所述微环波导2-3厘米的位置，垂直向下喷涂所述短管碳纳米管溶液。