[发明专利]弹性波器件、滤波器和多路复用器在审
| 申请号： | 202310265516.8 | 申请日： | 2023-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN116346074A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 宋崇希;姚远;姚艳龙;丁毅;龙峥 | 申请（专利权）人： | 江苏卓胜微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/13;H03H9/02;H03H9/54;H03H9/70 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 汤丽娅 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 弹性 器件 滤波器 多路复用 | ||
1.一种弹性波器件，其特征在于，所述弹性波器件包括：
衬底；
在所述衬底上层的压电层以及形成在所述压电层上方的IDT电极；
所述衬底的欧拉角为(0°±10°，±90°±10°，±45°±10°)；
所述压电层的欧拉角为(0°±10°，120°±5°，0°±10°)或者，(0°±10°，130°±5°，0°±10°)，或者，(0°±10°，140°±5°，0°±10°)。
2.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述衬底的欧拉角为(0°±5°，90°±5°，45°±5°)，或者，(0°±5°，90°±5°，-45°±5°)，或者，(0°±5°，-90°±5°，45°±5°)，或者，(0°±5°，90°±5°，-45°±5°)。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波器件，其特征在于，所述压电层的欧拉角为(0°±10°，120°±3°，0°±10°)，或者，(0°±5°，130°±4°，0°±5°)，或者，(0°±5°，140°±3°，0°±5°)。
4.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述衬底包括硅，所述压电层包括LiTaO3、LiNbO3、ZnO、A1N和PZT中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述衬底和所述压电层之间设置有中间层，所述中间层包括：
高声速膜，设置在所述衬底上，所述高声速膜中传播的体波的声速高于所述压电层中传播的弹性波的声速；
低声速膜，设置在所述高声速膜上，所述低声速膜中传播的体波的声速低于所述压电层中传播的弹性波的声速。
6.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述衬底为上层设置高声速膜的高声速衬底，所述高声速衬底和所述压电层之间设置有低声速膜；
所述高声速膜中传播的体波的声速高于所述压电层中传播的弹性波的声速，所述低声速膜中传播的体波的声速低于所述压电层中传播的弹性波的声速。
7.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述压电层的膜厚大于0.1λ，所述λ为将以所述IDT电极的电极指的周期确定的波长。
8.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述压电层为LiTaO3，所述LiTaO3的切割角为30°以上且60°以下。
9.一种滤波器，其特征在于，所述滤波器包括权利要求1至8任一所述的弹性波器件。
10.一种多路复用器，其特征在于，所述多路复用器包括权利要求1至8任一所述的弹性波器件。
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