[发明专利]一种基于压电系统的气体流量泵

权利要求书

1.一种基于压电系统的气体流量泵，其特征在于：所述气体流量泵包括进气外壳、压电系统组件、震动膜组件及出气外壳，所述进气外壳设有进气结构，所述出气外壳设有出气结构，所述进气外壳及出气外壳之间设有阀腔，所述震动膜组件设置在所述阀腔内，所述压电系统组件设置在所述震动膜组件的上方，所述震动膜组件与所述出气外壳之间设有定位结构，所述进气外壳设有定位压紧结构；

所述震动膜组件设有密封圈，所述密封圈与震动膜组件之间设有定位结构二及密封结构，所述震动膜组件包括上部震动膜及下部震动膜，所述上部震动膜与下部震动膜之间设有密封阀，所述密封阀设有气室，所述下部震动膜设有出气孔，所述出气孔与所述出气结构连通，所述上部震动膜设有单向流通结构及定位凹槽，所述压电系统组件设置在定位凹槽上。

2.根据权利要求1所述的基于压电系统的气体流量泵，其特征在于：所述进气结构由多个通孔构成，多个所述通孔分别设置在所述进气外壳的顶面及侧面上，所述通孔的一端与外界连接连通，所述通孔的另一端与所述阀腔连接连通。

3.根据权利要求2所述的基于压电系统的气体流量泵，其特征在于：所述出气外壳设有环形凸起，所述环形凸起设有气室一，所述出气结构设置在所述出气外壳的底部，所述出气结构包括出气管，所述出气管设有通孔一，所述通孔一与所述气室一连接连通。

4.根据权利要求3所述的基于压电系统的气体流量泵，其特征在于：所述压电系统组件包括电极片、压电陶瓷片及振动片，所述定位凹槽设置在所述上部震动膜的顶面的中心位置上，所述振动片设置在所述定位凹槽内，所述压电陶瓷片设置在所述振动片上，所述电极片设置在所述密封圈上，所述电极片包括正电极片及负电极片，所述正电极片及负电极片均设有接触部及连接部，所述接触部均与所述压电陶瓷片接触构成电性连接，所述连接部由连接部穿出与外界接触。

5.根据权利要求4所述的基于压电系统的气体流量泵，其特征在于：所述定位结构包括定位槽结构及定位块结构，所述定位槽结构包括多个定位槽，且所述定位槽以环形阵列的方式设置在所述出气外壳的内侧面上，所述定位块结构包括多块定位块，且所述定位块以环形阵列的方式设置在所述下部震动膜的外侧面上。

6.根据权利要求5所述的基于压电系统的气体流量泵，其特征在于：所述定位压紧结构包括多个定位压块，所述定位压块以环形阵列的方式设置在所述进气外壳的底部内侧面上，且所述定位压块分别与定位槽配合连接。

7.根据权利要求6所述的基于压电系统的气体流量泵，其特征在于：所述定位结构二包括定位柱结构及多组定位孔结构，所述定位柱结构设置在所述密封圈的底部，多个所述定位孔结构分别设置在所述上部震动膜、下部震动膜及密封阀上，所述定位柱结构包括多个定位柱，多组所述定位孔结构均包括多个定位孔，所述定位柱分别与定位孔一一对正连接。

8.根据权利要求7所述的基于压电系统的气体流量泵，其特征在于：所述密封结构包括多条环形凸块及多条环形凹槽，多条所述环形凸块分别设置在所述密封圈的底部、上部震动膜的底部及密封阀的底部，多条所述环形凹槽分别设置在所述上部震动膜的上表面、密封阀的上表面及下部震动膜的上表面，所述上部震动膜的底面还设有密封凸环，所述密封凸环的外侧面倒有斜面，所述下部震动膜还设有密封凹槽，所述密封阀的内侧面及密封凹槽均倒有斜面一，所述斜面与斜面一配合贴合连接，所述密封凸环的底面与密封凹槽配合连接。

9.根据权利要求8所述的基于压电系统的气体流量泵，其特征在于：所述环形凸起还设有密封凸起一，所述下部震动膜的底部设有密封凹槽一，所述密封凸起一与密封凹槽一配合连接，所述单向流通结构为具有弹性的单向渗透膜，所述单向流通结构包括多个单向渗透透气孔，且所述单向渗透透气孔的出气口朝向气室，所述单向渗透透气孔用于气体的单向运动。

10.根据权利要求9所述的基于压电系统的气体流量泵，其特征在于：所述密封圈的外侧面与所述阀腔的内侧面之间设有进气缝隙，所述进气外壳与出气外壳之间、压电系统组件与上部震动膜之间、上部震动膜与密封圈之间、上部震动膜与密封阀之间、密封阀与下部震动膜之间、下部震动膜与出气外壳之间均采用粘胶连接或焊接的方式连接成一体。