[发明专利]一种聚酰亚胺薄膜平整设备

权利要求书

1.一种聚酰亚胺薄膜平整设备，包括底座，其特征在于：该底座接触薄膜的一端阵列有若干气孔；以及

台板，介于薄膜与底座正对；以及

囊套，该囊套置于台板下方，并且囊套内有液体，用于向囊套内补充或者排出液体时，使囊套下坠以逐步摊开方式接触薄膜，或者使囊套上移以逐步收拢方式远离薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种聚酰亚胺薄膜平整设备，其特征在于：沿所述台板高度方向设置囊套固定部并使囊套固定部贯穿台板来吊挂囊套。

3.根据权利要求2所述的一种聚酰亚胺薄膜平整设备，其特征在于：在所述台板两侧设置电机以及与电机结合并由电机驱动的丝杆；以及

套管，圈套至丝杆处，并且套管处还转接有一根与囊套固定部旋转连接的连杆，用于电机施以扭力至丝杆时，调整囊套固定部至台板处的所处高度。

4.根据权利要求3所述的一种聚酰亚胺薄膜平整设备，其特征在于：在所述连杆处设置与连杆滑动配合的箱本体，该箱本体分别连接了软管以及软杆，并且软管和软杆均由囊套固定部顶部下穿至囊套内，其中，软杆下穿至囊套内的端部与囊套的任意点位连接，软管下穿至囊套内的端部悬空至囊套中。

5.根据权利要求4所述的一种聚酰亚胺薄膜平整设备，其特征在于：所述囊套固定部高度方向具有连通囊套的软杆通道以及分设在软杆通道两侧并同样与连通囊套的软管通道，其中，软管由软管通道下穿至囊套内，而软杆通道端部嵌入了软杆套，并使每个软杆穿过软杆套与囊套连接。

6.根据权利要求4所述的一种聚酰亚胺薄膜平整设备，其特征在于：所述箱本体沿连杆朝套管滑动时，囊套固定部较台板上移并且囊套逐渐收拢，所述箱本体沿连杆朝囊套固定部滑动时，囊套固定部较台板下移并且囊套以摊开方式接触薄膜。

7.根据权利要求3所述的一种聚酰亚胺薄膜平整设备，其特征在于：在所述箱本体两侧分别设置与连杆结合的第一隔板和第二隔板，并且第一隔板和第二隔板朝向箱本体的一端均安装了弹簧。

8.根据权利要求1所述的一种聚酰亚胺薄膜平整设备，其特征在于：所述底座外围设有正对套管的气阀，该气阀顶部设有位于套管移动路径内的气阀开关。

9.根据权利要求3所述的一种聚酰亚胺薄膜平整设备，其特征在于：在所述电机处安装电机固定件，并使电机固定件架设在台板处来固定电机。

10.根据权利要求1所述的一种聚酰亚胺薄膜平整设备，其特征在于：在所述台板和底座之间设置撑架，并使撑架分别承接底座和台板。