[发明专利]一种声表面波滤波器及多工器

权利要求书

1.一种声表面波滤波器，包括支撑衬底、高声速层、低声速层、压电膜层、滤波器金属电极以及多个滤波器芯片，其特征在于：所述滤波器芯片为梯形滤波器或纵向耦合多模滤波器。

2.根据权利要求1所述的一种声表面波滤波器，其特征在于：所述梯形滤波器包括多个由串联臂和并联臂构成的谐振器。

3.根据权利要求2所述的一种声表面波滤波器，其特征在于：所述梯形滤波器还包括反射栅、第一上下汇流条电极、第一上下有效指和第一上下假指，其中，谐振器与声波传播方向x1形成夹角β1，第一上下有效指和第一上下假指之间分别形成第一有效孔径上边界和第一有效孔径下边界，第一有效孔径上边界和第一有效孔径下边界的形状为包含弧线和直线的多段线。

4.根据权利要求2所述的一种声表面波滤波器，其特征在于：所述梯形滤波器还包括反射栅、第一上下汇流条电极、第一上下有效指和上下附加金属条，其中谐振器与声波传播方向x1形成夹角β2，上下附加金属条为1至3根彼此平行或互成一定角度的金属条，所述上下附加金属条的形状为直线型、波浪形或包含弧线和直线的多段线型金属条。

5.根据权利要求1所述的一种声表面波滤波器，其特征在于：所述纵向耦合多模滤波器包括反射栅、多个换能器及第一端口、第二端口，其中每个换能器由上汇流条电极、下汇流条电极、第二上下假指和第二上下有效指组成；每个换能器的上汇流条电极分别与第一端口相连或接地，每个换能器的下汇流条电极分别与第二端口相连或接地，且多个换能器的上汇流条电极交替与第一端口和接地相连，多个换能器的下汇流条电极交替与第二端口和接地相连，每个换能器与声波传播方向x1形成夹角θ；第二上下假指和第二上下有效指之间分别形成第二有效孔径上边界和第二有效孔径下边界，第二有效孔径上边界和下边界的形状为直线型、单周期或多周期弯曲波浪形。

6.根据权利要求1所述的一种声表面波滤波器，其特征在于：所述纵向耦合多模滤波器包括：反射栅、多个换能器及第一端口、第二端口，其中每个换能器由上汇流条电极、下汇流条电极、第二上下有效指、第二上下附加金属条和第一上下有效指加宽电极组成；每个换能器的上汇流条电极分别与第一端口相连或接地，每个换能器的下汇流条电极分别与第二端口相连或接地，且多个换能器的上汇流条电极交替与第一端口和接地相连，多个换能器的下汇流条电极交替与第二端口和接地相连，每个换能器与声波传播方向x1形成夹角θ；第二上下附加金属条由多根金属条组成，且同侧的多根金属条共线或各自与相应上下汇流条平行；第一上下有效指加宽电极分布于第二上下有效指的指条尖端以及第二上下有效指上靠近第二上下附加金属条处。

7.根据权利要求5或6所述的一种声表面波滤波器，其特征在于：相邻的两个换能器分别与声波传播方向x1形成的夹角分别为θ₁和θ₂，且θ₁和θ₂的取值不同。

8.根据权利要求5或6所述的一种声表面波滤波器，其特征在于：任意一个换能器中靠近边界的多对金属指条形成换能器的边界区域，与换能器的中间区域相比换能器的边界区域中电极倾斜角度为0°～7°；换能器的边界区域与换能器的中间区域的电极周期的比值定义为η，η取值范围为0.7～1.3。

9.根据权利要求1所述的一种声表面波滤波器，其特征在于：所述支撑衬底的材料为：单晶硅、碳化硅、蓝宝石或金刚石；所述高声速层的材料为：氮化铝、氮化硅、多晶硅、金刚石或氧化铝；所述低声速层的材料为：二氧化硅或掺碳氧化硅；所述压电膜层材料为：钽酸锂或铌酸锂。

10.一种多工器，包含2个及以上的声表面波滤波器，其特征在于，所述声表面波滤波器采用权利要求2～4任一所述的声表面波滤波器和/或采用权利要求5～7任一所述的声表面波滤波器，所述封装基板中设有由单层电感或贯穿多层金属层的电感构成的匹配电路。