[发明专利]一种基于线阵CCD的位移测量方法在审

专利信息
申请号: 202310146120.1 申请日: 2023-02-21
公开(公告)号: CN116105609A 公开(公告)日: 2023-05-12
发明(设计)人: 熊显名;玉光等;杜浩;张文涛;徐宋通;曾创;郭逸璇 申请(专利权)人: 桂林电子科技大学
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 541004 广*** 国省代码: 广西;45
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 ccd 位移 测量方法
【权利要求书】:

1.一种基于线阵CCD的位移测量方法。其特征在于包括以下步骤:

S1.对线阵CCD采集数据中选4个标定点,每个标定点连续取3n个数据;

S2.将4个标定点所取数据进行中值滤波,得到4路稳定信号;

S3.将4路信号中相位差180°相减消直流量得到2路正交信号,将正交信号进行CORDIC算法获得相位x1

S4.x1延时得x2,x1与前一周期相位x'2差值x3,相位幅值x4,若x3大于x4/2,则运动1个整周期,否则运动x1

S5.总相位x为整数个幅值mx4加上x1,再将x转换为对应计数关系的位移y。

2.根据权利要求1所述的一种基于线阵CCD的位移测量方法,其特征在于,所述步骤S1中,4个标定点为所采集线阵CCD信号上依次对应于指示光栅相位差90°的区域SA、SB、SC、SD

3.根据权利要求1所述的一种基于线阵CCD的位移测量方法,其特征在于,所述步骤S2中,采用流水线方式,将每一段标定点的3n个信号分为3个一组,共3n-1组,每3个数据进行比较,得到每组的中间值;然后把每组的中间值再进行比较,进行n次,得到每一段的中间值S'A、S'B、S'C、S'D

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