[发明专利]玻璃在审
申请号: | 202310080491.4 | 申请日: | 2016-04-01 |
公开(公告)号: | CN116040940A | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 齐藤敦己 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | C03C3/091 | 分类号: | C03C3/091;C03C3/083;C03C3/087;C03C3/085;C03B5/16;C03B5/187;C03B19/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 | ||
1.一种玻璃,其特征在于,以摩尔%计含有SiO255%~80%、Al2O311%~30%、B2O3 0%~3%、Li2O+Na2O+K2O 0%~3%、和MgO+CaO+SrO+BaO 5%~35%作为玻璃组成,且应变点高于700℃。
2.根据权利要求1所述的玻璃,其特征在于,B2O3的含量不足1摩尔%。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃,其特征在于,Li2O+Na2O+K2O的含量为0.2摩尔%以下。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的玻璃,其特征在于,摩尔比(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3为0.5~5。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的玻璃,其特征在于,摩尔比MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)不足0.5。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的玻璃,其特征在于,在30℃~380℃的温度范围内的热膨胀系数为40×10-7/℃以上。
7.根据权利要求1~6中任一项所述的玻璃,其特征在于,应变点为800℃以上。
8.根据权利要求1~7中任一项所述的玻璃,其特征在于,(102.5dPa·s时的温度-应变点)为900℃以下。
9.根据权利要求1~8中任一项所述的玻璃,其特征在于,102.5dPa·s的粘度时的温度为1750℃以下。
10.根据权利要求1~9中任一项所述的玻璃,其特征在于,其为平板形状。
11.根据权利要求1~10中任一项所述的玻璃,其特征在于,其被使用在用于制作半导体晶体的基板中。
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