[发明专利]一种可调光阑装置

说明书

一种可调光阑装置，包括：第一X向光阑片、第二X向光阑片、第一Y向光阑片、第二Y向光阑片、第一调整机构、第二调整机构和同步机构；第一X向光阑片和第二X向光阑片设置于第一调整机构，第一Y向光阑片和第二Y向光阑片设置于第二调整机构；第一调整机构用于调整第一X向光阑片和第二X向光阑片相向或背向连续移动；第二调整机构用于调整第一Y向光阑片和第二Y向光阑片相向或背向连续移动；第一调整机构和第二调整机构通过同步机构同步调整第一X向光阑片、第二X向光阑片、第一Y向光阑片和第二Y向光阑片的移动，以同步调整可调光阑在X方向和Y方向的尺寸变化。该可调光阑装置能够对可调光阑的长宽两个方向的尺寸同时调整也可以分别调整。

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及一种可调光阑装置。

背景技术

现有技术中可调光阑大部分是圆形光阑，而光刻机照明系统中的光斑截面主要是方形的，因此为了消除杂散光、或者为了得到所需尺寸的光斑、或者截取较高能量均匀性的光斑时，需要高精度连续可调的方形光阑。

目前实现方形光阑的在先技术如下：

在先技术“灯具用的方形光阑及灯具”(公开号为CN205351217U)描述一种可调的方形光阑，此光阑包括四个光阑片和手柄，需要在四个方向分别进行操作。操作时人为操作对其影响较大，而且精度不高。

在先技术“一种可调光阑、光阑转换系统和电子显微镜”(公开号为CN113345783A)描述一种可调光阑以及光阑转换系统，此系统中可调光阑包括两个旋转芯，旋转芯之间彼此镜像对应绕旋旋转轴旋转。此系统还有一个光阑盘，光阑盘上布置有包括方形光阑在内的若干光阑，通过转换装置达到选择光阑的目的。

目前可调的方形光阑比较少，且现有的可调的方形光阑的结构形式主要是两种情况，一种是利用电机驱动、导轨导向，这种结构可进行连续高精度调整，但是其结构复杂，成本很高，附件占有空间大；还有一种结构在一个转盘上布置若干个光阑，通过选择光阑实现调整光阑口径的目的，这种结构也是占有空间大，需要驱动机构，且不可连续调整。

发明内容

针对光刻机照明系统需要高精度连续可调的方形光阑，本申请提供一种可调光阑装置，该可调光阑装置能够根据光阑片的形状形成所需的可调方形光阑，光阑调整过程中，同方向的光阑边缘对称移动，光阑的中心不变，可调光阑的长宽两个方向的尺寸可以同时调整也可以分别调整。

本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种可调光阑装置，包括：第一X向光阑片、第二X向光阑片、第一Y向光阑片、第二Y向光阑片、第一调整机构、第二调整机构和同步机构；

所述第一X向光阑片和第二X向光阑片沿X方向平行设置于所述第一调整机构，所述第一Y向光阑片和第二Y向光阑片沿Y方向平行设置于所述第二调整机构，所述第一X向光阑片、第二X向光阑片、第一Y向光阑片和第二Y向光阑片之间形成可调光阑；

所述第一调整机构用于调整所述第一X向光阑片和第二X向光阑片相向或背向连续移动，以调整所述可调光阑在Y方向的尺寸变化；

所述第二调整机构用于调整所述第一Y向光阑片和第二Y向光阑片相向或背向连续移动，以调整所述可调光阑在X方向的尺寸变化；

所述第一调整机构和第二调整机构通过所述同步机构同步调整所述第一X向光阑片、第二X向光阑片、第一Y向光阑片和第二Y向光阑片的移动，以同步调整所述可调光阑在X方向和Y方向的尺寸变化。

进一步优选的，所述第一调整机构调整所述第一X向光阑片和第二X向光阑片对称的相向或背向移动，所述第二调整机构调整所述第一Y向光阑片和第二Y向光阑片对称的相向或背向移动，以使所述可调光阑在X方向尺寸变化过程中和/或在Y方向尺寸变化过程中，光阑的中心位置保持不变。