[发明专利]一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置在审

专利信息
申请号: 202310046447.1 申请日: 2023-01-31
公开(公告)号: CN115950231A 公开(公告)日: 2023-04-11
发明(设计)人: 韩美洲;冯志东;胡大鹏;张浩 申请(专利权)人: 苏州港麟微电子有限公司
主分类号: F26B11/18 分类号: F26B11/18;F26B23/04;F26B3/347;F26B25/22;F26B25/02;F26B25/18;H01L31/18
代理公司: 北京冠和权律师事务所 11399 代理人: 郑延斌
地址: 215000 江苏省苏州市相城区元和*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 使用 微波 烘干 topcon 电池 硅片 装置
【说明书】:

发明提供了一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置,涉及微波烘干技术领域,包括链式传送机构,链式传送机构包括传送带,传送带用于传送花篮,花篮上设有TOPCon电池硅片,传送带的上侧对应设有微波烘干机构,本发明的微波烘干TOPCon电池硅片装置,通过磁控管工作,磁控管产生微波,利用微波快速烘干水分,能够对花篮中的TOPCon电池硅片全方位进行烘干,避免了花篮中带齿的地方通过鼓风机工作时难以吹干,存在死角区域,使得TOPCon电池硅片无法完全烘干,影响TOPCon电池硅片的后续制程。

技术领域

本发明涉及微波烘干技术领域,具体为一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置。

背景技术

目前市场上的TOPCon清洗制绒槽式设备,工序为去除损伤层+水洗+预清洗+水洗+制绒+水洗+后清洗+水洗+酸洗脱水+水洗+预干燥+烘干,用行车的手臂提着花篮一个槽一个槽的走过去,最后放到烘干槽里面用热风烘干,拿鼓风机来吹硅片;

现有槽式设备基本是将花篮放在烘干槽里面,但是花篮带齿的地方就难吹干,若想烘干效果够理想则所需的烘干时间变长,会导致TOPCon电池硅片的下一步纯化不够完美。

发明内容

本发明提供一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置,用以解决上述提出的现有槽式设备基本是将花篮放在烘干槽里面,但是花篮带齿的地方就难吹干,若想烘干效果够理想则所需的烘干时间变长,会导致TOPCon电池硅片的下一步纯化不够完美的技术问题。

为解决上述技术问题,本发明公开了一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置,包括链式传送机构,链式传送机构包括传送带,传送带用于传送花篮,花篮上设有TOPCon电池硅片,传送带的上侧对应设有微波烘干机构。

优选的,链式传送机构还包括前后对称设置的固定板一,前侧的固定板一左右两端对称设有链轮,左右两端的链轮之间通过链条连接,链轮与固定轴固定连接,固定轴贯穿前侧的固定板一并与后侧的固定板一的转动连接,固定轴与传送筒固定连接。

优选的,左右两端的传送筒之间通过传送带连接,左端的固定轴固定连接有驱动电机。

优选的,微波烘干机构包括固定板二,固定板二与前侧的固定板一固定连接,固定板二与固定块固定连接,固定块中安装有磁控管。

优选的,链式传送机构安装在TOPCon清洗制绒槽式设备和下料设备之间,下料设备通过空花篮回传设备与插片设备连接,插片设备通过上料设备与TOPCon清洗制绒槽式设备连接。

优选的,固定块中安装有高效烘干机构,高效烘干机构包括烘干腔,烘干腔设置在固定块的内部,烘干腔的内部设有放置座,放置座上设有花篮,烘干腔的侧壁均匀布设有若干磁控管,固定块的下侧左右两端贯穿设有滑孔,滑孔中活动设有挡板,放置座的底部为网状结构。

优选的,放置板连接有自动化机构,自动化机构包括转动套,转动套贯穿烘干腔的前端与外界的控制电机固定连接,转动套远离控制电机的一端内部设有凹槽,凹槽中固定设有电磁块,电磁块和磁块对应设置,磁块与连接轴一固定连接,连接轴一和凹槽之间设有弹簧一,连接轴一与齿轮一固定连接,且连接轴一与支撑套滑动连接,支撑套固定设置在烘干腔的后端,凹槽中偏心转动设有齿轮二,齿轮二与齿轮一啮合。

优选的,转动套的外部与烘干腔中的连接块一、烘干腔中的连接块二固定连接,连接块一与放置板转动连接,放置板与放置座固定连接,放置板通过连接杆与连接块三转动连接,连接块三通过连接轴二与连接块二转动连接,连接轴二与带轮一固定连接,带轮一通过连接带与带轮二连接,带轮二与齿轮二固定连接。

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