[发明专利]一种采用聚酰亚胺膜的超声波发生屏及其制造方法

权利要求书

1.一种采用聚酰亚胺膜的超声波发生屏，包括透明基板以及拉紧在透明基板外侧的振动膜；振动膜的内侧面设有第一透明电极，透明基板的外侧面设有第二透明电极，第一透明电极与第二透明电极之间夹设有空气层或透明绝缘介质层；其特征在于：所述振动膜为夹合有增强纤维的聚酰亚胺膜。

2.根据权利要求1所述的一种采用聚酰亚胺膜的超声波发生屏，其特征在于：所述增强纤维呈网状结构。

3.根据权利要求1所述的一种采用聚酰亚胺膜的超声波发生屏，其特征在于：所述增强纤维为碳纤维，碳纤维的丝束直径＜5μm。

4.根据权利要求1所述的一种采用聚酰亚胺膜的超声波发生屏，其特征在于：所述增强纤维为玻璃纤维。

5.根据权利要求4所述的一种采用聚酰亚胺膜的超声波发生屏，其特征在于：所述玻璃纤维的材质为无色聚酰亚胺。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种采用聚酰亚胺膜的超声波发生屏，其特征在于：所述振动膜通过拉紧结构拉紧在所述透明基板的外侧，拉紧结构设置在透明基板的周边，并且拉紧结构与所述增强纤维直接构成连接。

7.根据权利要求6所述的一种采用聚酰亚胺膜的超声波发生屏，其特征在于：所述拉紧结构为呈框状的固定胶层，固定胶层的材质为紫外光固化树脂。

8.一种采用聚酰亚胺膜的超声波发生屏的制造方法，其特征在于：包括如下步骤：

（1）在玻璃母板的表面上涂布一层无色聚酰亚胺或聚酰亚胺前驱物的涂料，经过半固化形成第一层聚酰亚胺涂层；

（2）在聚酰亚胺膜上压上一层拉紧的纤维网，纤维网由增强纤维构成；

（3）在纤维网上再涂布一层由无色聚酰亚胺或聚酰亚胺前驱物的涂料，形成第二层聚酰亚胺涂层，其与纤维网和第一层聚酰亚胺涂层形成浸润，将纤维网包覆在第一层聚酰亚胺涂层和第二层聚酰亚胺涂层之间，再使第二层聚酰亚胺涂层进行完全固化，形成夹有增强纤维的聚酰亚胺膜，得到振动膜；

（4）在振动膜的表面上镀设一层ITO薄膜，并经过图形化形成第一透明电极；

（5）在第一透明电极上涂覆绝缘介质材料形成介质层，在振动膜表面处在介质层的周边区域涂覆作为拉紧结构的固定胶层；

（6）在透明基板镀设一层ITO薄膜并经过图形化形成第二透明电极，再将带有第二透明电极的透明基板覆盖在玻璃母板之上，使第一透明电极、第二透明电极夹设在透明基板和振动膜之间，再对固定胶层和介质层进行固化，使透明基板、第二透明电极的外侧面通过固定胶层与振动膜的内侧面粘结；

（7）将附着于玻璃母板上的所有材料层从玻璃母板上剥离出来，得到所述超声波透明屏。

9.根据权利要求8所述的一种采用聚酰亚胺膜的超声波发生屏，其特征在于：所述步骤（1）、步骤（3）中采用的聚酰亚胺前驱物为聚酰胺酸；所述步骤（5）中涂覆的绝缘介质材料为硅胶；所述步骤（5）中涂覆的固定胶层的材质为紫外光固化树脂。

10.根据权利要求8所述的一种采用聚酰亚胺膜的超声波发生屏，其特征在于：所述步骤（4）、步骤（6）中，在所述ITO薄膜的表面上镀设金属膜并图案化形成金属周边线路。