[发明专利]双面卷对卷激光直写曝光机

权利要求书

1.一种双面卷对卷激光直写曝光机，包括用于对基材进行输送的放卷装置和收卷装置，以及用于对基材进行涨紧悬空的涨紧装置，其特征在于，所述涨紧装置包括：

支撑机构，该支撑机构通过设置在曝光区域中的多个支撑杆对基材悬空的中间部位进行支撑；以及

设置在多个支撑杆输送方向两端的端部夹紧机构，该端部夹紧机构对基材的放料端和收料端分别进行夹紧。

2.根据权利要求1所述的双面卷对卷激光直写曝光机，其特征在于，所述端部夹紧机构包括上下布置的上辊轮和下辊轮，以及用于带动上、下辊轮夹紧的夹紧气缸。

3.根据权利要求2所述的双面卷对卷激光直写曝光机，其特征在于，所述夹紧气缸包括用于驱动上辊轮运动的第一夹紧气缸和第二夹紧气缸，以及用于驱动下辊轮运动的第三夹紧气缸和第四夹紧气缸，其中上、下辊轮的两端分别设置有第一安装板和第二安装板，所述第一夹紧气缸和第三夹紧气缸分别设置在第一安装板的两侧，所述第二夹紧气缸和第四夹紧气缸分别设置在第二安装板的两侧。

4.根据权利要求1所述的双面卷对卷激光直写曝光机，其特征在于，所述涨紧装置还包括用于对基材侧边进行夹紧的侧面夹紧机构，该侧面夹紧机构包括圆杆以及安装在圆杆两端的固定座，其中一个固定座上设置有用于驱动圆杆转动的摆动气缸，所述圆杆上沿其长度方向设置有多个用于夹紧基材侧边的夹紧块。

5.根据权利要求4所述的双面卷对卷激光直写曝光机，其特征在于，所述夹紧块通过扭簧固定在所述圆杆上。

6.根据权利要求1所述的双面卷对卷激光直写曝光机，其特征在于，所述支撑机构还包括设置在非曝光区域中的吸附机构，该吸附机构的吸附表面与多个支撑杆的支撑面处于同一水平面上。

7.根据权利要求1所述的双面卷对卷激光直写曝光机，其特征在于，所述支撑机构还包括驱动机构，该驱动机构能够带动多个支撑杆沿着导轨产生步进移动。

8.根据权利要求1所述的双面卷对卷激光直写曝光机，其特征在于，所述涨紧装置的上下方分布设置有上曝光组件和下曝光组件。

9.根据权利要求8所述的双面卷对卷激光直写曝光机，其特征在于，所述涨紧装置还包括升降组件，该升降组件用于调节多个支撑杆的高度，使基材高度处于上、下曝光组件的焦面上。