[实用新型]一种新型变径换热器结构

说明书

本实用新型公开了一种新型变径换热器结构，涉及单晶硅生产设备技术领域。本实用新型包括换热器主体，换热器主体的内部均匀装配有多个壁肋组。本实用新型通过第一伸缩壁肋、第二伸缩壁肋、第三伸缩壁肋和刻度线之间的相互配合，使得换热器便于根据生产需求调节内径，避免了单晶炉需要配备多套换热器，避免了资源浪费，降低了占用的仓储空间，减少了购置成本，同时节省了更换换热器的时间，降低了人工成本，降低了工人的工作量，提高了生产效率，通过换热器主体、第一伸缩壁肋、第二伸缩壁肋和第三伸缩壁肋之间的相互配合，使得装置到单晶硅棒的距离便于调节，便于调试单晶硅棒的极限拉制速度，使得装置便于使用。

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产设备技术领域，特别是涉及一种新型变径换热器结构。

背景技术

单晶硅作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件。在拉制单晶硅时，要将原料置于单晶炉内，经过高温使其熔化，然后籽晶由顶部降至熔化的多晶硅中，通过控制液面的温度，使熔化的籽晶在周围重新结晶，生成排列整齐的单晶硅棒。

在拉制单晶硅棒的时，单晶炉内部的换热器内径不同，拉制的单晶硅棒规格也不相同，现有的换热器无法根据生产需求调节内径，每台单晶炉要配备两套换热器，甚至三套换热器来满足不同的生产需求，造成资源浪费，占用仓储空间，提高了购置成本，该问题一直困扰着众多单晶从业者，基于上述问题，急需一种便于调节内径的换热器以满足不同尺寸规格的晶棒生产需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型变径换热器结构，以解决了现有的问题：现有的换热器无法根据生产需求调节内径，每台单晶炉要配备两套换热器，甚至三套换热器来满足不同的生产需求，造成资源浪费，占用仓储空间，提高了购置成本。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种新型变径换热器结构，包括换热器主体，所述换热器主体的内部均匀装配有多个壁肋组，所述壁肋组包括多个便于调节换热器内径的伸缩式壁肋机构。

进一步的，所述伸缩式壁肋机构包括第一伸缩壁肋、第一导向槽、第二伸缩壁肋、第二导向槽和第三伸缩壁肋，所述第一伸缩壁肋固定于换热器主体的内壁，所述第一导向槽开设于第一伸缩壁肋的内部，所述第二伸缩壁肋滑动连接于第一导向槽的内部，所述第二导向槽开设于第二伸缩壁肋的内部，所述第三伸缩壁肋滑动连接于第二导向槽的内部。

进一步的，所述第一伸缩壁肋和第二伸缩壁肋以及第二伸缩壁肋和第三伸缩壁肋之间均为过渡配合。

进一步的，所述第一伸缩壁肋、第二伸缩壁肋和第三伸缩壁肋的材质均为316L不锈钢。

进一步的，所述第一伸缩壁肋、第二伸缩壁肋和第三伸缩壁肋的一侧均设置有刻度线。

进一步的，所述换热器主体的内部且位于相邻的两个壁垒组之间均设置有CCD捕捉区域。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过第一伸缩壁肋、第二伸缩壁肋、第三伸缩壁肋和刻度线之间的相互配合，使得换热器便于根据生产需求调节内径，避免了单晶炉需要配备多套换热器，避免了资源浪费，降低了占用的仓储空间，减少了购置成本，使得装置更加实用。

2、本实用新型通过换热器主体、第一伸缩壁肋、第二伸缩壁肋和第三伸缩壁肋之间的相互配合，使得装置到单晶硅棒的距离便于调节，便于调试单晶硅棒的极限拉制速度，使得装置便于使用。

3、本实用新型通过第一伸缩壁肋、第二伸缩壁肋和第三伸缩壁肋之间的相互配合，使得装置节省了更换换热器的时间，降低了人工成本，降低了工人的工作量，提高了单晶硅棒的生产效率。

附图说明