[实用新型]一种有机硅球制程水的回收系统有效

专利信息
申请号: 202223530032.1 申请日: 2022-12-27
公开(公告)号: CN219489770U 公开(公告)日: 2023-08-08
发明(设计)人: 李庆;纪权鑫 申请(专利权)人: 长兴特殊材料(珠海)有限公司
主分类号: C02F9/00 分类号: C02F9/00;C02F1/04;C02F1/38;C02F1/44;C02F1/72;C02F1/32
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 黄菲菲
地址: 519000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 有机硅 球制程水 回收 系统
【权利要求书】:

1.一种有机硅球制程水的回收系统,其特征在于,按照物料的走向,依次包括:

制程水水池;

再沸器,与所述制程水水池相连;

超重力设备,所述超重力设备的进口与所述再沸器相连,所述超重力设备的出口与甲醇溶液储存罐、中间水池相连;

RO反渗透装置,包括依次相连的高压RO膜组和低压RO膜组,以及分别与所述高压RO膜组、所述低压RO膜组相连的纯水储存罐;所述高压RO膜组与所述中间水池相连;

催化氧化反应池,与所述低压RO膜组相连。

2.根据权利要求1所述的一种有机硅球制程水的回收系统,其特征在于,还设置有第一缓冲槽,所述第一缓冲槽设置于所述制程水水池与所述再沸器之间。

3.根据权利要求1或2所述的一种有机硅球制程水的回收系统,其特征在于,还设置有冷凝器,所述冷凝器设置于所述超重力设备和所述甲醇溶液储存罐之间。

4.根据权利要求1或2所述的一种有机硅球制程水的回收系统,其特征在于,还设置有过滤装置,所述过滤装置设置于所述中间水池与所述高压RO膜组之间。

5.根据权利要求4所述的一种有机硅球制程水的回收系统,其特征在于,所述过滤装置为袋式过滤器。

6.根据权利要求4所述的一种有机硅球制程水的回收系统,其特征在于,还设置有第二缓冲槽,所述第二缓冲槽设置于所述中间水池与所述过滤装置之间。

7.根据权利要求1或2所述的一种有机硅球制程水的回收系统,其特征在于,还设置有调匀池,所述调匀池设置于所述低压RO膜组和所述催化氧化反应池之间。

8.根据权利要求1或2所述的一种有机硅球制程水的回收系统,其特征在于,所述催化氧化反应池中安装有紫外光灯,并加入双氧水。

9.根据权利要求1或2所述的一种有机硅球制程水的回收系统,其特征在于,还设置有废水池,所述废水池与所述催化氧化反应池相连。

10.根据权利要求1或2所述的一种有机硅球制程水的回收系统,其特征在于,还设置有生化调节池,所述生化调节池与所述催化氧化反应池相连。

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