[实用新型]一种六氟化硫抽真空装置

权利要求书

1.一种六氟化硫抽真空装置，其特征在于，包括：

底盘(100)，设置有用于放置设备的箱体；

回收装置(250)，设置在所述箱体内部，所述回收装置(250)用于抽取六氟化硫气体并压缩为六氟化硫液体；

第一换热组件(210)，设置在所述底盘(100)上，所述第一换热组件(210)上端设置有用于放置储存瓶的容纳槽(221)，所述第一换热组件(210)能够冷却放置在所述容纳槽(221)当中的储存瓶；

压缩机(260)，设置在所述箱体内；

第二换热组件(270)，设置在所述箱体内，所述第一换热组件(210)、所述压缩机(260)和所述第二换热组件(270)共同组成一个冷媒循环；

散热风机(280)，设置在所述箱体内，所述散热风机(280)用于驱动所述箱体内的空气流经所述第二换热组件(270)后吹出所述箱体。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫抽真空装置，其特征在于，所述回收装置(250)设置所述箱体内部的前侧，所述箱体位于所述回收装置(250)一侧的位置开设有进气格栅。

3.根据权利要求2所述的六氟化硫抽真空装置，其特征在于，所述箱体位于所述回收装置(250)后侧以及左右两侧的位置均开设有所述进气格栅。

4.根据权利要求2所述的六氟化硫抽真空装置，其特征在于，所述进气格栅处设置有过滤网，所述过滤网与所述进气格栅可拆卸连接。

5.根据权利要求2所述的六氟化硫抽真空装置，其特征在于，所述压缩机(260)设置在所述回收装置(250)后侧，所述第二换热组件(270)设置在所述压缩机(260)后侧。

6.根据权利要求5所述的六氟化硫抽真空装置，其特征在于，所述箱体位于所述第二换热组件(270)前侧的位置开设有出气格栅。

7.根据权利要求6所述的六氟化硫抽真空装置，其特征在于，所述散热风机(280)位于所述第二换热组件(270)与所述出气格栅之间。

8.根据权利要求7所述的六氟化硫抽真空装置，其特征在于，所述散热风机(280)有多个，多个所述散热风机(280)沿前后方向依次分布。

9.根据权利要求1所述的六氟化硫抽真空装置，其特征在于，所述回收装置(250)连接有接管部(230)，所述接管部(230)能够通过管路与待回收装置(250)连通。

10.根据权利要求9所述的六氟化硫抽真空装置，其特征在于，所述回收装置(250)和所述接管部(230)之间连接有分子筛装置(240)，所述分子筛装置(240)用于提高六氟化硫气体的纯度。