[实用新型]一种便于调节角度的通风管道

说明书

本实用新型公开了一种便于调节角度的通风管道，包括固定管道，所述固定管道的上端设置有连接环，所述连接环的上端设置有活动管道，所述连接环的内部设置有角度调节机构；本实用新型结构简单，设计合理，向下推动活动管道，同时带动下端的导向块向下挤压压缩弹簧，压缩弹簧向下移动并带动压缩弹簧上端的导向槽向下位移，由此活动管道外侧的活动齿轮与空腔内侧壁上的锁止环失去啮合，接着转动活动管道，活动管道下端导向块在导向槽内发生旋转，完成活动管道的角度调节，然后松开活动管道，由于压缩弹簧收到挤压产生相反的力将活动管道向上推动，带动活动管道外侧的活动齿轮向上位移与锁止环啮合卡住，活动管道完成固定。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体为一种便于调节角度的通风管道。

背景技术

在半导体生产行业中，经常要用到四氟化碳气体来作为工作气体，四氟化碳是一种较为常见的等离子蚀刻工作气体，也广泛用作于二氧化硅、氮化硅的等离子蚀刻剂。

现有技术的不足：

四氟化碳为惰性低毒物质，在空气中不燃烧，所以在日常工作中，经常由于四氟化碳的低毒性而疏于管理，但是在高温时会与可燃气体一同燃烧，并分解出有毒的氟化物，而目前的通风管道一般采用固定结构，不能实现角度的任意调节，在遇到高温情况时不能及时调整角度规避有毒物质产生，所以现在急需一种方便操作且能适应不同角度调节的通风管道。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于调节角度的通风管道，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于调节角度的通风管道，包括固定管道，所述固定管道的上端设置有连接环，所述连接环的上端设置有活动管道，所述连接环的内部设置有角度调节机构，所述连接环的内部开设有空腔，所述固定管道的外侧设置有固定组件；

所述角度调节机构包括有：

若干个压缩弹簧，所述压缩弹簧设置在空腔的下端面上，所述压缩弹簧的上端设置有导向槽；

导向块，所述导向块设置在活动管道的下端，所述导向块与导向槽滑动连接；

活动齿轮，所述活动齿轮设置在活动管道下端的外侧壁上；

锁止环，所述锁止环设置在空腔的内侧壁上，所述活动齿轮与锁止环啮合连接。

优选的，所述固定组件包括有：

固定框，所述固定框设置在固定管道的外侧，所述固定框的一端通过开设螺纹孔螺纹连接有固定螺栓，所述固定框的两侧均设置有定位槽；

定位块，所述定位块设置在固定框的内部，所述定位块的两侧与定位槽滑动连接，所述固定螺栓的一端与定位块连接；

定位弹簧，所述定位弹簧设置在定位块的下端，所述定位弹簧的另一端与固定框的内侧壁连接。

优选的，所述导向槽的外侧通过设置滑块与连接环侧壁上开设的滑槽滑动连接。

优选的，所述活动管道的上端设置有弯管。

优选的，所述连接环与固定管道和活动管道的连接处均设置有密封圈。

优选的，所述压缩弹簧的数量至少为6个。

优选的，所述固定管道和活动管道均为酚醛铝箔复合风管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：