[实用新型]一种光路调节装置及激光加工设备

权利要求书

1.一种光路调节装置，其特征在于，包括：

底座；

第一透镜组件，所述第一透镜组件安装于所述底座上；

第二透镜组件，所述第二透镜组件活动安装于所述底座上，所述第二透镜组件相对于所述第一透镜组件的距离可调节；

第三透镜组件，所述第一透镜组件位于所述第二透镜组件和所述第三透镜组件之间，所述第三透镜组件活动安装于所述底座上，所述第三透镜组件相对于所述第一透镜组件的距离可调节。

2.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于，所述第一透镜组件包括第一支座和第一镜片，所述第一支座安装在所述底座上，所述第一镜片活动安装在所述第一支座上，所述第一镜片相对于所述第一支座的位置可调节。

3.根据权利要求2所述的光路调节装置，其特征在于，所述第二透镜组件包括第二支座和第二镜片，所述第二支座活动安装在所述底座上，所述第二支座相对于所述第一支座的夹角可调节，所述第二镜片活动安装在所述第二支座上，所述第二镜片相对于所述第二支座的位置可调节。

4.根据权利要求2所述的光路调节装置，其特征在于，所述第三透镜组件包括第三支座和第三镜片，所述第三支座活动安装在所述底座上，所述第三支座相对于所述第一支座的夹角可调节，所述第三镜片活动安装在所述第三支座上，所述第三镜片相对于所述第三支座的位置可调节。

5.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于，还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构安装于所述底座上，所述第一驱动机构与所述第二透镜组件驱动连接，所述第一驱动机构适于驱动所述第二透镜组件沿第一方向移动。

6.根据权利要求5所述的光路调节装置，其特征在于，还包括第一连接件，所述第一连接件的底部设置有滑块结构，所述底座上设置有滑轨结构，所述滑块结构与所述滑轨结构滑动连接，所述第一驱动机构与所述第一连接件驱动连接，所述第二透镜组件安装于所述第一连接件上，所述第一驱动机构适于带动所述第一连接件沿所述第一方向移动。

7.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于，还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构安装于所述底座上，所述第二驱动机构与所述第三透镜组件驱动连接，所述第二驱动机构适于驱动所述第三透镜组件沿第一方向移动。

8.根据权利要求7所述的光路调节装置，其特征在于，还包括第二连接件，所述第二连接件的底部设置有滑块结构，所述底座上设置有滑轨结构，所述滑块结构与所述滑轨结构滑动连接，所述第二驱动机构与所述第二连接件驱动连接，所述第三透镜组件安装于所述第二连接件上，所述第二驱动机构适于带动所述第二连接件沿所述第一方向移动。

9.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于，还包括检测装置，所述检测装置用于检测所述第二透镜组件和所述第三透镜组件的位置。

10.一种激光加工设备，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的光路调节装置。