[实用新型]一种大口径异形光学元件离子束精修快速装夹机构

权利要求书

1.一种大口径异形光学元件离子束精修快速装夹机构，其特征在于：包括U型转接法兰、基板、固定压条；

所述U型转接法兰的横板与离子束抛光机上料机构连接，U型转接法兰的环形竖板与基板采用可拆卸方式连接；

所述基板有多个，每个基板对应一个大口径异形光学元件；每个基板上均设有元件凹槽，该元件凹槽与大口径异形光学元件相适配；

所述固定压条有多个，置于元件凹槽四周，与基板采用可拆卸方式连接，进而将大口径异形光学元件固定在基板上。

2.根据权利要求1所述的大口径异形光学元件离子束精修快速装夹机构，其特征在于：所述基板的两侧设有手柄凹槽，该手柄凹槽与元件凹槽相连通。

3.根据权利要求1所述的大口径异形光学元件离子束精修快速装夹机构，其特征在于：所述U型转接法兰的横板通过螺钉与离子束抛光机上料机构连接；U型转接法兰的环形竖板通过螺钉与基板连接。

4.根据权利要求1所述的大口径异形光学元件离子束精修快速装夹机构，其特征在于：所述固定压条通过螺钉与基板连接。

5.根据权利要求1或4所述的大口径异形光学元件离子束精修快速装夹机构，其特征在于：固定压条有四个，分别位于元件凹槽的四边。

6.根据权利要求1所述的大口径异形光学元件离子束精修快速装夹机构，其特征在于：所述元件凹槽以大口径异形平面光学元件的最长对角线为X轴基准，为以X轴基准中线为Y轴基准，形成元件凹槽。

7.根据权利要求1或6所述的大口径异形光学元件离子束精修快速装夹机构，其特征在于：所述元件凹槽的深度比大口径异形光学元件厚度小。

8.根据权利要求1所述的大口径异形光学元件离子束精修快速装夹机构，其特征在于：U型转接法兰的横板上均匀分布着8个第一沉槽，该第一沉槽与离子束抛光机上料机构上的8个螺纹通孔通过螺钉连接；U型转接法兰的环形竖板上均匀分布着8个螺纹通孔，该螺纹通孔与基板上的8个第二沉槽通过螺钉连接。

9.根据权利要求1所述的大口径异形光学元件离子束精修快速装夹机构，其特征在于：每个固定压条上设有3个第三沉槽，该第三沉槽与基板上的3个螺纹通孔通过螺钉连接，将大口径异形平面光学元件固定在元件凹槽内。

10.根据权利要求1或9所述的大口径异形光学元件离子束精修快速装夹机构，其特征在于：所述固定压条接触大口径异形光学元件的一面贴有高温胶布。