[实用新型]一种用于硼靶材的快速烧制装置

说明书

本实用新型公开了一种用于硼靶材的快速烧制装置，包括炉体，所述炉体一侧设置有连接支架，所述连接支架上通过销体活动安装有炉门，所述炉体底部两侧设置有支撑架，所述炉体内部设有保温层，所述保温层内侧设有保温棉，所述保温棉内侧底部设有高温垫砖，所述高温垫砖两侧固定连接有第一U形板，所述第一U形板对侧设有与所述保温棉固定连接的第二U形板，所述第一U形板和第二U形板上均设有电阻丝，所述电阻丝通过电源线与炉体外侧的控制器相连，所述炉体上方设有连接口，所述连接口通过软管与气泵相连。本实用新型采用上述的一种用于硼靶材的快速烧制装置，炉内温度高，保温效果好，烧制时间短，可以实时检测炉内温度。

技术领域

本实用新型涉及电加热炉技术领域，尤其是涉及一种用于硼靶材的快速烧制装置。

背景技术

硼靶材是指将硼粉压制成形后，在炉内经过高温冶炼，从而获得结构致密、硬度很高的产品。常见的靶材分为全部使用硼制作的纯硼靶材和加入其他原料的混合靶材。

硼靶材在电子、半导体等领域有重要应用。靶材在烧制烘干定型的过程中，而现有的烧制装置炉内温度低，导致烧制时间较长，从而使制备出的靶材结构密度低，机械强度差，不适合在脉冲激光法和电子束法制膜技术中使用。并且，现有的烧制装置在烧制完成后多为自然冷却，冷却时间长，无法检测烧制装置内部的温度，在取物时容易发生烫伤。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于硼靶材的快速烧制装置，炉内温度高，保温效果好，烧制时间短，可以实时检测炉内温度。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种用于硼靶材的快速烧制装置，包括炉体，所述炉体一侧设置有连接支架，所述连接支架上通过销体活动安装有炉门，所述炉体底部两侧设置有支撑架，所述炉体内部设有保温层，所述保温层内侧设有保温棉，所述保温棉内侧底部设有高温垫砖，所述高温垫砖两侧固定连接有第一U形板，所述第一U形板对侧设有与所述保温棉固定连接的第二U形板，所述第一U形板和第二U形板上均设有电阻丝，所述电阻丝通过电源线与炉体外侧的控制器相连，所述炉体上方设有连接口，所述连接口通过软管与气泵相连。

优选的，所述电阻丝呈螺旋状缠绕于瓷管表面。

优选的，所述炉门周侧设置有与螺栓对应的开孔，所述炉体上设置有与开孔对应的凹槽。

优选的，所述炉体内部远离炉门的一侧设置有温度传感器，所述温度传感器与控制器相连。

优选的，所述控制器外侧设有显示屏、电源开关、温度调节旋钮、时间调节旋钮。

优选的，所述炉门上侧设有凸起，其内侧设有密封圈。

优选的，所述气泵为两用真空泵。

优选的，所述保温层材质为高温耐火陶瓷纤维，所述保温棉材质为针刺毯、硅酸铝棉毡、玻璃棉中的一种。

因此，本实用新型采用上述一种用于硼靶材的快速烧制装置，其技术效果如下：

(1)电阻丝的缠绕设置增加了电阻丝的长度，可以使炉体内达到更高的温度，缩短了烧制时间。

(2)温度传感器可以实时反馈炉内的温度，在烧制过程中或烧制结束后，通过显示屏方便观察炉内温度，以便确定下一步工作。

(3)气泵的设置可以将炉内的气体抽出，达到真空环境，实现快速增温，也可以根据需要对炉体内充入惰性气体，进行惰性气体保护。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1是本实用新型一种用于硼靶材的快速烧制装置的正视图；

图2是本实用新型一种用于硼靶材的快速烧制装置的局部侧视图；

图3是本实用新型一种用于硼靶材的快速烧制装置控制器的放大图。