[实用新型]一种气体流量校准装置

权利要求书

1.一种气体流量校准装置，包括储液管（1）、供气管（2）和连通管（3），其特征在于：所述储液管（1）的外表面设置有刻度线（4），所述储液管（1）的上表面两侧分别固定连通有进液管（101）和出液管（102），所述出液管（102）的一端与所述供气管（2）的下表面固定连通，所述连通管（3）的下表面与所述供气管（2）的上表面固定连通，所述供气管（2）的一侧表面分别固定连通有进气管（201）和排气管（202），所述连通管（3）的上表面固定连通有出气管（301），所述进液管（101）、所述出液管（102）、所述进气管（201）、所述排气管（202）和所述出气管（301）的表面分别设置有电磁阀（5），所述供气管（2）的下表面固定安装有支撑架（6），所述支撑架（6）的表面固定安装有控制器（7），所述储液管（1）的一侧设置有推动机构，所述推动机构包括支板（8），所述支板（8）的上表面固定安装有伺服电机（801）。

2.根据权利要求1所述的气体流量校准装置，其特征在于：所述推动机构还包括安装壳体（802），所述安装壳体（802）的下表面固定安装在所述支板（8）的上表面一侧，所述伺服电机（801）的输出轴一端延伸至所述安装壳体（802）内并固定套接有锥形齿轮（803），所述安装壳体（802）的内壁通过轴承安装有传动轴（804），所述传动轴（804）的两端分别与另一所述锥形齿轮（803）的轴心处固定套接，第四所述锥形齿轮（803）的轴心处固定套接有螺杆（805）。

3.根据权利要求2所述的气体流量校准装置，其特征在于：所述螺杆（805）的一端通过轴承安装在所述安装壳体（802）的内壁，所述安装壳体（802）的一侧固定连接有套管（806），所述螺杆（805）的一端穿出所述安装壳体（802）并延伸至所述套管（806）内。

4.根据权利要求3所述的气体流量校准装置，其特征在于：所述螺杆（805）的表面螺纹连接有螺纹套（807），所述螺纹套（807）的一侧固定连接有推杆（808），所述推杆（808）的表面贯穿开设有穿孔（809）。

5.根据权利要求4所述的气体流量校准装置，其特征在于：所述推杆（808）的表面两侧分别固定连接有定位杆（810），所述套管（806）的内壁分别开设有两个定位滑槽（811），所述定位杆（810）的表面与所述定位滑槽（811）的内壁滑动卡接。

6.根据权利要求4所述的气体流量校准装置，其特征在于：所述储液管（1）的一侧开设有通孔（812），所述通孔（812）的内壁固定连接有密封垫（813），所述推杆（808）的一端穿过所述密封垫（813）的内壁并固定连接有活塞（814）。