[实用新型]一种石英坩埚壁厚快速检测装置

说明书

本发明涉及一种石英坩埚壁厚快速检测装置，包括底座、固定坩埚圆心的旋转装置和测量坩埚壁厚的测量装置；所述旋转装置设置在所述底座上；所述测量装置设置在所述底座上；所述测量装置包括支架、对坩埚的壁厚测量的测量件；所述测量件的测量端压紧坩埚的内侧壁和外侧壁；所述测量件相对设置；所述测量件滑动连接在所述支架上。解决了现有技术无法对不同直径或不同壁厚的坩埚进行测量，且测量出的结果仅为合格或者不合格的问题。

技术领域

本发明涉及一种检测装置，尤其涉及一种石英坩埚壁厚快速检测装置。

背景技术

石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。石英坩埚在制作过程中需要经过高纯石英砂→高纯石墨模具→真空装料成型→真空电弧熔制→自然冷却脱模→石英坩埚初步检测→冷加工喷砂、切断、倒角→石英坩埚二次检测→超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干；而内外径及壁厚的检测就是其中的一环。

现有技术中，根据专利号202010171880.4的发明专利，其包括顶板承载板、底板、固定于底板的圆环形挡板，所述底板处具有多个半球形凹槽，每个半球形凹槽内具有一个球体，所述承载板位于所述底板上方被多个所述球体支撑；所述顶板通过电动伸缩杆连接有检测单元，所述检测单元包括活动板、内径检测环和外径检测环，外径检测环通过第一连接杆与所述活动板连接，所述内径检测环通过第二连接杆与所述活动板连接。现有技术无法对不同直径或不同壁厚的坩埚进行测量，且测量出的结果仅为合格或者不合格。

发明内容

本申请实施例通过提供一种石英坩埚壁厚快速检测装置，解决了现有技术中无法对不同直径或不同壁厚的坩埚进行测量，且测量出的结果仅为合格或者不合格的问题。

本申请实施例采用的技术方案如下。

一种石英坩埚壁厚快速检测装置，包括底座、固定坩埚圆心的旋转装置和测量坩埚壁厚的测量装置；所述旋转装置设置在所述底座上；所述测量装置滑动连接在所述底座上；所述测量装置包括支架、对坩埚的壁厚测量的测量件；所述测量件的测量端压紧坩埚的内侧壁和外侧壁；所述测量件相对设置；所述测量件滑动连接在所述支架上。

进一步的技术方案为：所述测量装置还包括对所述测量件导向的导向杆和将所述测量件始终压紧坩埚的内侧壁和外侧壁的弹性件；所述支架上开设有滑动槽；所述导向杆设置在所述滑动槽内；所述弹性件的一端抵紧所述测量件，所述弹性件的另一端抵紧所述滑动槽的侧壁。

进一步的技术方案为：所述测量件包括抵紧坩埚的内侧壁和外侧壁的滚动块和对所述滚动块导向的滑动块；所述滑动块滑动连接在所述支架上；所述滚动块旋转连接在所述滑动块上。

进一步的技术方案为：所述支架上设置有刻度；所述滑动块上设置有指针；所述指针指向所述刻度。

进一步的技术方案为：所述滑动块上设置有卡块；所述支架上设置有卡槽；所述滑动块向远离坩埚的方向移动，直至所述卡块卡入所述卡槽内。

进一步的技术方案为：所述旋转装置包括支撑块、对坩埚侧壁进行压紧的辊轮、滑动连接在所述支撑块的第一滑块、设置在所述底座上的圆块和移动所述第一滑块的抵紧块；所述支撑块与所述圆块同轴；所述抵紧块设置在所述圆块上；所述第一滑块抵紧所述抵紧块；所述辊轮旋转连接在所述第一滑块上。

进一步的技术方案为：所述抵紧块、所述第一滑块和所述辊轮沿着坩埚圆周阵列若干。

进一步的技术方案为：所述支撑块侧壁上设置有将所述支撑块与所述圆块同轴的第二滑块；所述第二滑块贴紧所述圆块；所述第二滑块沿着坩埚圆周阵列若干；其中一组所述第二滑块上螺纹连接第一螺栓；所述第一螺栓的螺纹端压紧所述圆块的侧壁。

本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：