[实用新型]一种兆声波清洗机的槽体结构

说明书

本实用新型属于清洗设备技术领域，尤其涉及一种兆声波清洗机的槽体结构，包括清洗机本体，所述清洗机本体的内部分别开设有风干腔和清洗槽，还包括：风干机构，所述风干机构设置在清洗机本体外部靠近风干腔的一侧；限定放置机构，所述限定放置机构设置在清洗槽的内部，所述限定放置机构的四周均设置有提伸机构；其中，所述风干腔的内部开设有封闭槽，所述封闭槽的内部设置有开关机构，所述清洗槽内部的底部固定安装有兆声发生器。相对于现有技术，本实用新型达到了提高清洗效率以及便于快速风干的效果。

技术领域

本实用新型属于清洗设备技术领域，尤其涉及一种兆声波清洗机的槽体结构。

背景技术

兆声波清洗机是以高频(850kHz)振效应并结合化学清洗剂的化学反应对硅片进行清洗为原理的清洗设备，兆声波清洗不仅保存了超声波清洗的优点，而且克服了它的不足，在清洗时，由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波，溶液分子在这种声波的推动下作加速运动，最大瞬时速度可达到30cm/s，因此，形成不了超声波清洗那样的气泡,而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面,使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。

申请号为CN201921882990.0的中国专利公开了一种兆声波清洗机的槽体结构，包括外PP槽壁、兆声挡水板、外槽安装座、内槽壁、石英缸斜底、石英缸槽、花篮、兆声发生器和兆声保护盒，所述外PP槽壁包含四个侧壁和一个底壁形成长方体外槽，所述长方体外槽相对的两个内槽壁上固定安装有支撑板一和支撑板二，所述支撑板一和所述支撑板二处于同一水平高度，所述支撑板一和所述支撑板二上支撑安装有所述内槽壁，所述内槽壁由四个侧面围成并形成起内部的所述石英缸槽，所述石英缸槽的底部固定安装有所述石英缸斜底。有益效果在于：该装置所述的兆声波清洗机的槽体结构适用于小物件的清洗，清洗频率更高，并且能量使用率高，浪费低。但是该装置缺乏限定组件，当需要对多个硅片同时进行清洗时，会使得硅片堆积，从而导致堆积的部分难以彻底洗净，此外该装置清洗结束后无法将硅片上的水渍及时风干，需要人工擦拭，十分不便。由此有必要做出改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述存在的技术问题，提供一种兆声波清洗机的槽体结构，达到了提高清洗效率以及便于快速风干的效果。

有鉴于此，本实用新型提供一种兆声波清洗机的槽体结构，包括清洗机本体，所述清洗机本体的内部分别开设有风干腔和清洗槽，还包括：

风干机构，所述风干机构设置在清洗机本体外部靠近风干腔的一侧；

限定放置机构，所述限定放置机构设置在清洗槽的内部，所述限定放置机构的四周均设置有提伸机构；

其中，所述风干腔的内部开设有封闭槽，所述封闭槽的内部设置有开关机构，所述清洗槽内部的底部固定安装有兆声发生器。

在上述技术方案中，进一步的，所述限定放置机构包括：

清洗框，所述清洗框内部的底部固定安装有电机一，所述电机一的表面安装有防水壳，所述电机一的输出端固定安装有分隔板。

在本技术方案中，通过在放置框的内部设置有分隔板，可以对硅片进行分开放置，避免硅片全部放入清洗框内部出现堆叠的情况，提高了装置清洗的效率，此外通过电机带动分隔板转动，可以间接带动分隔板之间的硅片转动，方便对不同位置的硅片进行快速风干。

在上述技术方案中，进一步的，所述风干机构包括：

壳体和加热棒，所述壳体固定安装在清洗机本体外侧的表面，所述壳体的内部与风干腔的内部相连通，所述壳体的内部固定安装有风机，所述加热棒设置有若干个，每个所述加热棒均固定安装在风干腔的内部

其中，所述风干腔与清洗槽的内部相连通。