[实用新型]一种二氟化氧去除装置

权利要求书

1.一种二氟化氧去除装置，其特征在于，包括进气管路、反应罐、镍球反应层、加热单元和第一出气管路；

所述进气管路与所述反应罐的内底部连通，所述镍球反应层设置在所述反应罐内，所述镍球反应层设置有多个，多个所述镍球反应层沿所述反应罐的高度方向间隔设置；所述加热单元设置在所述反应罐的侧壁，且所述加热单元的加热端与所述镍球反应层相对；所述第一出气管路与所述反应罐的内顶面连通。

2.根据权利要求1所述的一种二氟化氧去除装置，其特征在于，所述加热单元设置有多个，多个所述加热单元沿所述反应罐的高度方向间隔设置。

3.根据权利要求1所述的一种二氟化氧去除装置，其特征在于，还包括冷却单元，所述冷却单元包括进液管、冷却罐、冷却管和出液管，所述进液管与所述冷却罐的下部连通，所述出液管与所述冷却罐的上部连通，所述冷却管设置在所述冷却罐内，所述冷却管的上端与所述第一出气管路连通，所述冷却管的下端延伸至所述冷却罐的外侧。

4.根据权利要求3所述的一种二氟化氧去除装置，其特征在于，所述冷却管为盘管结构。

5.根据权利要求3所述的一种二氟化氧去除装置，其特征在于，还包括第二出气管路和保温层，所述第二出气管路与所述冷却管的下端连通，所述保温层包覆在所述第二出气管路的外围，所述第二出气管路与后一工序的设备连通。

6.根据权利要求5所述的一种二氟化氧去除装置，其特征在于，所述第二出气管路上设置有温度检测表和压力检测表。

7.根据权利要求1所述的一种二氟化氧去除装置，其特征在于，所述镍球反应层包括安装架、安装网和镍球，所述安装网设置有两个，两个所述安装网设置在所述安装架的上下两端，所述镍球铺设在两个所述安装网之间；所述镍球的颗粒直径为6-8mm。