[实用新型]一种等离子清洗机的外罩壳

说明书

本实用新型涉及等离子清洗机技术领域，尤其是指一种等离子清洗机的外罩壳，包括腔体、设置于腔体下方的多个排气罩及控制器，所述腔体和排气罩的外围设有外罩壳；所述外罩壳包括罩设在所述腔体和排气罩外的集气腔，所述集气腔上依次连接设有过滤通道、抽吸泵、检测通道和排放组件，所述排放组件与所述过滤通道之间设有回流管，所述过滤通道可拆卸连通安装在所述集气腔上。本实用新型能够很好的收集所产生的废气，并对清洗后废气进行过滤吸附，直至达到排放标准后排放到空气中，有效的防止了排放气对空气造成污染。

技术领域

本实用新型涉及等离子清洗机技术领域，尤其是指一种等离子清洗机的外罩壳。

背景技术

在显示技术领域，基板制备的过程中，都会经过清洗、涂覆、曝光、显影、烘烤等工艺以在基板上形成需要的图案。基板在清洗后都需要经过等离子清洗设备。等离子清洗设备喷出的等离子体与基板表面的有机物结合，将有机物氧化分解成水和二氧化碳等以除去基板表面的有机物。

为此中国专利CN208894765U公开了一种等离子清洗机，其包括腔体和排气罩，所述腔体的下部设置有多个等离子体出口，所述排气罩的数量为多个，且多个所述排气罩与多个所述等离子体出口一一对应设置。本实用新型通过设置多个排气罩，使每个等离子体出口对应一个排气罩，有效缩小了排气罩的体积，使得等离子体出口的气流压力能够将从基板上清洗下来的污染物顺利从排气罩的排气口排出，提升了等离子清洗机的排气性能。

但是依然存在以下缺陷：1)对于排气罩排放出的废气缺乏处理装置，直接排放到空气中会对环境造成污染；2)对于腔体和排气罩之间逸出气体收集不便。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种等离子清洗机的外罩壳，能够很好的收集所产生的废气，并对清洗后废气进行过滤吸附，直至达到排放标准后排放到空气中，有效的防止了排放气对空气造成污染。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种等离子清洗机的外罩壳，包括腔体、设置于腔体下方的多个排气罩及控制器，所述腔体和排气罩的外围设有外罩壳；所述外罩壳包括罩设在所述腔体和排气罩外的集气腔，所述集气腔上依次连接设有过滤通道、抽吸泵、检测通道和排放组件，所述排放组件与所述过滤通道之间设有回流管，所述过滤通道可拆卸连通安装在所述集气腔上。

进一步地，所述过滤通道内依次设有滤网、吸油过滤纸、海绵吸附层和第一活性炭吸附层，所述滤网靠近排气罩的出气端，所述回流管与所述第一活性炭吸附层连通。

进一步地，所述检测通道的进气端设有第二活性炭吸附层，所述检测通道的内部设有多气体传感器。

进一步地，所述排放组件包括连接管，所述连接管的一端与所述检测通道连通，所述连接管的另一端连通设有回流通管和排放管，所述回流通管和排放管上均设有截止阀。

进一步地，所述集气腔内设有压力传感器。

本实用新型的有益效果：

在实际使用情景中，清洗完成后的废气通过排气罩排出进入集气腔内暂存，然后经由抽吸泵抽气，使废气经过过滤通道过滤后进入检测通道内进行检测，当检测结果符合排放标准的时候，控制排放组件将处理完的气体排放到空气中；若检测结果不符合排放标准，控制排放组件连通回流管，将气体回送到过滤通道进行二次过滤吸附，直到检测结果达到排放标准，过滤通道可拆卸连通安装在集气腔上，方便对过滤材料进行更换。本实用新型能够很好的收集所产生的废气，并对清洗后废气进行过滤吸附，直至达到排放标准后排放到空气中，有效的防止了排放气对空气造成污染。

附图说明

图1为本实用新型的整体剖面结构示意图；

图2为本实用新型的图1A处放大示意图；

图3为本实用新型的图1B处放大示意图。