[实用新型]一种定位热场的炉底盘有效
申请号: | 202223264187.5 | 申请日: | 2022-12-07 |
公开(公告)号: | CN218756148U | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 赵丽丽 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨鹏谦科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 南京新诚汇知识产权代理事务所(普通合伙) 32661 | 代理人: | 薛艳丽 |
地址: | 150006 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 定位 底盘 | ||
本实用新型公开了一种定位热场的炉底盘,涉及热场炉底盘的技术领域;而本实用新型包括;一种定位热场的炉底盘,包括炉底盘,所述炉底盘上安装设有热场底固毡,所述炉底盘上固定设有固定杆,所述热场底固毡内转动插设有套筒,所述固定杆活动插设在套筒内,所述炉底盘内开设有安装槽,所述安装槽内安装设有压环,所述压环下固定设有收集筒,所述炉底盘内开设有收集槽,通过炉底盘上的定位环,使套筒下的弹片贴合在定位环内壁,对其进行挤压固定,从而能够使在对热场底固毡安装长时间使用时,也能够使炉底盘和热场底固毡进行定位,使热场对中,无需作业人员使用测量工具即可快速完成对热场的对中,作业效率大幅提高。
技术领域
本实用新型涉及炉底盘装置技术领域,具体为一种定位热场的炉底盘。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
申请号为CN202220291588.0,公开了一种定位热场的炉底盘,涉及单晶炉技术领域。本实用新型包括炉底盘本体,炉底盘本体上设有铜电极,热场底固毡设置于炉底盘本体上,热场底固毡上设有电极护套,铜电极外围的炉底盘本体上设有定位组件,所述定位组件具有与电极护套侧壁适配的定位部,所述电极护套与所述定位部接触实现与铜电极同轴。
这种在对热场底固毡定位完成后,在长时间运行会导致发生偏移,并不是很牢固,针对上述问题,发明人提出一种定位热场的炉底盘用于解决上述问题。
实用新型内容
为了解决在长时间运行会导致发生偏移,并不是很牢固问题;本实用新型的目的在于提供一种定位热场的炉底盘。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:一种定位热场的炉底盘,包括炉底盘,所述炉底盘上安装设有热场底固毡,所述炉底盘上固定设有固定杆,所述热场底固毡内转动插设有套筒,所述固定杆活动插设在套筒内,所述炉底盘内开设有安装槽,所述安装槽内安装设有压环,所述压环下固定设有收集筒,所述炉底盘内开设有收集槽,所述收集筒安装设在收集槽内,所述压环内开设有通槽,所述炉底盘内开设有螺纹槽,所述压环内螺纹连接有螺栓,所述螺栓螺纹连接在螺纹槽内。
优选地,所述套筒内开设有固定槽,所述固定杆活动插设在固定槽内,所述固定杆上固定设有限位杆,所述套筒内开设有限位槽,所述限位杆活动插设在限位槽内。
优选地,所述固定杆外表面固定设有滑块,所述套筒内壁开设有L形滑槽,所述滑块滑动设在L形滑槽内,所述滑块一侧固定设有第一磁铁,所述L形滑槽一侧内壁固定设有第二磁铁,所述热场底固毡上固定设有套环,所述套筒外表面固定设有固定环,所述固定环转动设在套环内。
优选地,所述炉底盘上固定设有定位环,所述套筒下端外表面固定设有弹片,所述弹片贴合设在定位环内。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:
1、通过炉底盘上的定位环,使套筒下的弹片贴合在定位环内壁,对其进行挤压固定,从而能够使在对热场底固毡安装长时间使用时,也能够使炉底盘和热场底固毡进行定位,使热场对中,无需作业人员使用测量工具即可快速完成对热场的对中,作业效率大幅提高;
2、通过固定杆上的滑块滑动在L性滑槽内,从而能够快速的将热场底固毡进行安装,通过滑块一侧的第一磁铁和L形滑槽内壁上的第二磁铁相互吸引,从而在对固定杆安装在套筒内后防止滑动,从而避免在长时间使用发生偏移;
3、通过螺栓将压环固定在安装槽内,从而使收集筒安装在收集槽内,从而使单晶炉运行中产生的杂质聚集在收集筒内,,然后在将压环进行拆卸,便于将杂质进行处理。
附图说明
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