[实用新型]高纯气体控制面板有效

专利信息
申请号: 202223251699.8 申请日: 2022-12-05
公开(公告)号: CN219433085U 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 赵英杰 申请(专利权)人: 上海洁安流体科技有限公司
主分类号: F17D3/01 分类号: F17D3/01;F17D1/04;F17D5/00;B01D35/02
代理公司: 上海尊肃专利代理事务所(普通合伙) 31454 代理人: 赖林东
地址: 201613 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 高纯 气体 控制 面板
【权利要求书】:

1.高纯气体控制面板,其特征在于,包括固定面板(1)、钢瓶接头(2)、第一压力表(3)、过滤器(4)、第一隔膜阀(5)、第二隔膜阀(6)、减压阀(7)、第一单向阀(8)、第二压力表(9)、第二单向阀(10)和第三隔膜阀(11),固定面板(1)上设置有钢瓶接头(2),钢瓶接头(2)一端依次连接第一压力表(3)、过滤器(4),过滤器(4)分别与第一隔膜阀(5)、第二隔膜阀(6)相连,第一隔膜阀(5)通过减压阀(7)与第二压力表(9)相连,第二压力表(9)通过第二单向阀(10)与第三隔膜阀(11)相连,第二隔膜阀(6)与第一单向阀(8)相连。

2.根据权利要求1所述的高纯气体控制面板,其特征在于,所述的钢瓶接头(2)另一端通过螺纹使钢瓶和金属软管进行连接。

3.根据权利要求1所述的高纯气体控制面板,其特征在于,所述的第一压力表(3)和第二压力表(9)均与减压器连接。

4.根据权利要求1所述的高纯气体控制面板,其特征在于,所述的第一隔膜阀(5)和第三隔膜阀(11)为主控隔膜阀。

5.根据权利要求1所述的高纯气体控制面板,其特征在于,所述的第二隔膜阀(6)为排空开关,与不锈钢管VCR连接。

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