[实用新型]高纯气体控制面板有效
申请号: | 202223251699.8 | 申请日: | 2022-12-05 |
公开(公告)号: | CN219433085U | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
发明(设计)人: | 赵英杰 | 申请(专利权)人: | 上海洁安流体科技有限公司 |
主分类号: | F17D3/01 | 分类号: | F17D3/01;F17D1/04;F17D5/00;B01D35/02 |
代理公司: | 上海尊肃专利代理事务所(普通合伙) 31454 | 代理人: | 赖林东 |
地址: | 201613 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高纯 气体 控制 面板 | ||
1.高纯气体控制面板,其特征在于,包括固定面板(1)、钢瓶接头(2)、第一压力表(3)、过滤器(4)、第一隔膜阀(5)、第二隔膜阀(6)、减压阀(7)、第一单向阀(8)、第二压力表(9)、第二单向阀(10)和第三隔膜阀(11),固定面板(1)上设置有钢瓶接头(2),钢瓶接头(2)一端依次连接第一压力表(3)、过滤器(4),过滤器(4)分别与第一隔膜阀(5)、第二隔膜阀(6)相连,第一隔膜阀(5)通过减压阀(7)与第二压力表(9)相连,第二压力表(9)通过第二单向阀(10)与第三隔膜阀(11)相连,第二隔膜阀(6)与第一单向阀(8)相连。
2.根据权利要求1所述的高纯气体控制面板,其特征在于,所述的钢瓶接头(2)另一端通过螺纹使钢瓶和金属软管进行连接。
3.根据权利要求1所述的高纯气体控制面板,其特征在于,所述的第一压力表(3)和第二压力表(9)均与减压器连接。
4.根据权利要求1所述的高纯气体控制面板,其特征在于,所述的第一隔膜阀(5)和第三隔膜阀(11)为主控隔膜阀。
5.根据权利要求1所述的高纯气体控制面板,其特征在于,所述的第二隔膜阀(6)为排空开关,与不锈钢管VCR连接。
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