[实用新型]一种抽真空装置及化成设备

权利要求书

1.一种抽真空装置，其特征在于，包括杯体以及管道；其中，

所述杯体内设置有沿所述杯体长度方向排布的挡板；所述挡板将所述杯体内的空间划分为折弯流道；

所述管道包括进气管以及出气管；其中，所述进气管及所述出气管分别与所述流道的两端一一对应连通。

2.根据权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述流道为波浪形的折弯流道。

3.根据权利要求2所述的抽真空装置，其特征在于，所述挡板的个数为多个，且多个所述挡板沿所述杯体的内侧壁的长度方向间隔排列。

4.根据权利要求3所述的抽真空装置，其特征在于，多个所述挡板划分为多个挡板组；

每个挡板组包括第一挡板以及第二挡板；其中，第一挡板和所述第二挡板均为倾斜向下的挡板；且所述第一挡板和所述第二挡板的倾斜方向相反。

5.根据权利要求4所述的抽真空装置，其特征在于，每个挡板组中，所述第二挡板靠近所述进气管设置，第一挡板远离所述进气管设置；

所述第一挡板的长度小于所述第二挡板的长度；且所述第一挡板远离所述杯体内侧壁的自由端指向所述第二挡板。

6.根据权利要求5所述的抽真空装置，其特征在于，任意沿所述杯体的长度方向相邻的两个挡板组中，两个第一挡板的排布方向相反，两个所述第二挡板的排布方向相反。

7.根据权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述挡板为螺旋式挡板；且所述挡板螺旋的轴线平行于所述杯体的长度方向。

8.根据权利要求1～7任一项所述的抽真空装置，其特征在于，所述杯体包括第一杯体和第二杯体；所述第一杯体与所述第二杯体密封连接，且所述第一杯体与所述第二杯体可拆卸的固定连接；

所述进气管和所述出气管一一对应设置在所述第一杯体和所述第二杯体；

所述挡板部分设置在所述第一杯体；

所述挡板另一部分设置在所述第二杯体。

9.根据权利要求8所述的抽真空装置，其特征在于，还包括卡环；所述第一杯体与所述第二杯体通过所述卡环可拆卸的固定连接。

10.根据权利要求8所述的抽真空装置，其特征在于，所述第一杯体上设置有第一螺纹，所述第二杯体上设置有与所述第一螺纹配合的第二螺纹；所述第一杯体与所述第二杯体通过所述第一螺纹和所述第二螺纹可拆卸的固定连接。

11.一种化成设备，其特征在于，包括如权利要求1～10任一项所述的抽真空装置，以及与所述抽真空装置连接的泵。