[实用新型]一种适用于高温感应炉的石墨坩埚内部温度测量装置

说明书

本实用新型公开了一种适用于高温感应炉的石墨坩埚内部温度测量装置，所述测量装置于所述感应炉上方；包括：石墨测温管、延长管、电木隔热块、铠装红外探头、保温填料层，所述石墨坩埚置于保温填料层中，所述石墨测温管从所述感应炉上方，依次穿过保温填料层、石墨坩埚盖的测温孔，所述石墨测温管低端与石墨坩埚内的料层内部接触；本实用新型提供的上述测量装置，既能够将感应炉上部传导过来的热量散去，使红外测温探头能够在小于温度上限的环境下工作，又可以起支撑红外测温探头的作用，将红外探头和坩埚的距离尽可能缩短，以减少测温误差。

技术领域

本实用新型公开涉及氮化硼结晶化设备技术领域，尤其涉及一种适用于高温感应炉的石墨坩埚内部温度测量装置。

背景技术

氮化硼是由硼元素和氮元素结合生成的，氮化硼在660℃以上可以生成。但660℃～1450℃温度范围内生成的氮化硼的结晶性很差，高结晶度氮化硼所具有的性能优势，如自润滑性，高导热性等均难以体现。因此，在较低温度下形成的氮化硼需要在高温下进行结晶化。而且，随着氮化硼结晶化的温度升高，氮化硼晶体的完整程度、粒径、生长速度都会增加，因此在需要进行大粒径高结晶度氮化硼晶体的制备时，通常选用1800℃乃至更高的温度进行氮化硼的结晶化操作，用红外测温装置控温。

由于制备氮化硼过程中会产生大量气体，同时氮化硼不导电，因此不能用电流直接加热。工业上使用的设备是感应炉，使用石墨作为坩埚，坩埚自身作为感应发热体，整体包埋在保温碳粉层中。由于此种结构，导致难以从侧面对坩埚温度进行测温。因此测温装置需要置于感应炉上方，但是感应炉上表面温度约三百摄氏度，而红外测温装置探头只能耐受180℃。

实用新型内容

鉴于此，本实用新型公开提供了一种适用于高温感应炉的石墨坩埚内部温度测量装置，能够防止高温损坏红外测温装置的测温探头。

本实用新型提供的技术方案，具体为，一种适用于高温感应炉的石墨坩埚内部温度测量装置，所述测量装置于所述感应炉上方；包括：石墨测温管、延长管、电木隔热块、铠装红外探头、保温填料层，所述石墨坩埚置于保温填料层中，所述石墨测温管从所述感应炉上方，依次穿过保温填料层、石墨坩埚盖的测温孔，所述石墨测温管低端与石墨坩埚内的料层内部接触，所述石墨测温管首端与延长管下端连接；所述延长管上端与电木隔热块下端连接，电木隔热块上端与铠装红外探头连接，

进一步地，所述石墨测温管底端为盲端。

进一步地，所述石墨测温管上端设有套管接头，石墨测温管上端通过所述套管接头与延长管的下端套接。

进一步地，所述延长管上端设有内螺纹结构，所述电木隔热块为圆柱形管状，下端设有外螺纹结构，所述延长管上端与电木隔热块下端通过所述内螺纹结构、外螺纹结构连接。

进一步地，所述电木隔热块上端通过套管接头与供铠装红外探头连接。

进一步地，所述延长管上设有散热窗。

本实用新型提供的一种适用于高温感应炉的石墨坩埚内部温度测量装置，既能够将感应炉上部传导过来的热量散去，使红外测温探头能够在小于温度上限的环境下工作，又可以起支撑红外测温探头的作用，将红外探头和坩埚的距离尽可能缩短，以减少测温误差。

上述装置从保温填料层包埋的石墨坩埚中，以顶部测温的形式准确测量坩埚内部物料温度，具体地，能够使红外探头的工作区域温度降低到约80-120℃。

另外，如不需要控温冷却，还可直接移出红外探头供其他感应炉体加热，节省设备成本。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本实用新型的公开。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种适用于高温感应炉的石墨坩埚内部温度测量装置的分解结构示意图。

具体实施方式