[实用新型]一种真空腔室用的玻璃定位装置

权利要求书

1.一种真空腔室用的玻璃定位装置，其特征在于，所述真空腔室用的玻璃定位装置包括：

真空腔室；

玻璃吸盘，设置在所述真空腔室内，用于吸附玻璃；

纠偏部，设置在所述真空腔室内，并与所述真空腔室相连接，所述纠偏部能够驱动所述玻璃吸盘沿第一方向运动、沿第二方向运动和沿圆周方向转动，所述第一方向垂直于所述第二方向；以及

连接部，连接所述玻璃吸盘与所述纠偏部，所述连接部能够驱动所述玻璃吸盘沿第三方向运动，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。

2.根据权利要求1所述的真空腔室用的玻璃定位装置，其特征在于，所述纠偏部包括：

第一驱动部，顶部连接于所述连接部，所述第一驱动部能够驱动所述连接部沿所述第一方向运动；

第二驱动部，顶部连接于第一驱动部，所述第二驱动部能够驱动所述第一驱动部沿所述第二方向运动；以及

第三驱动部，顶部连接于第二驱动部，所述第三驱动部能够驱动所述第二驱动部沿所述圆周方向转动。

3.根据权利要求2所述的真空腔室用的玻璃定位装置，其特征在于，所述第一驱动部包括：

第一横板，与所述连接部的底部相连接；

第一滑块，所述第一滑块的数量为多个，多个所述第一滑块与所述第一横板的底部相连接；

第一滑轨，所述第一滑轨的数量为多个，多个所述第一滑轨沿所述第一方向设置，所述第一滑块安装于所述第一滑轨；

第一驱动部件，与所述第一横板相连接，所述第一驱动部件能够驱动所述第一横板沿所述第一方向往返运动；

第二横板，所述第一滑轨安装于所述第二横板的顶部；以及

第一连接件，顶端与所述第一横板固定连接，底端与所述第二横板活动连接，所述第一连接件能够相对于所述第二横板沿所述第一方向运动。

4.根据权利要求3所述的真空腔室用的玻璃定位装置，其特征在于，所述第一驱动部件包括：

第一驱动块，与所述第一横板固定连接；以及

第一丝杠，所述第一驱动块形成有用于与所述第一丝杠配合的螺纹孔，所述第一丝杠用于驱动所述第一驱动块沿所述第一方向往返运动。

5.根据权利要求2所述的真空腔室用的玻璃定位装置，其特征在于，所述第二驱动部包括：

第二滑块，所述第二滑块的数量为多个，多个所述第二滑块与所述第一驱动部的底部相连接；

第二滑轨，所述第二滑轨的数量为多个，多个所述第二滑轨沿所述第二方向设置，所述第二滑块安装于所述第二滑轨；

第二驱动部件，与所述第一驱动部相连接，所述第二驱动部件能够驱动所述第一驱动部沿所述第二方向往返运动；

第三横板，所述第二滑轨安装于所述第三横板的顶部；以及

第二连接件，顶端与所述第一驱动部固定连接，底端与所述第三横板活动连接，所述第二连接件能够相对于所述第三横板沿所述第二方向运动。

6.根据权利要求5所述的真空腔室用的玻璃定位装置，其特征在于，所述第二驱动部件包括：

第二驱动块，与所述第一驱动部固定连接；以及

第二丝杠，所述第二驱动块形成有用于与所述第二丝杠配合的螺纹孔，所述第二丝杠用于驱动所述第二驱动块沿所述第二方向往返运动。