[实用新型]一种3D光学轮廓仪有效
| 申请号: | 202223149178.1 | 申请日: | 2022-11-25 |
| 公开(公告)号: | CN218765145U | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
| 发明(设计)人: | 刘思嘉;文中辉;刘洋 | 申请(专利权)人: | 苏州黑河电子科技有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 光学 轮廓仪 | ||
本实用新型涉及光学轮廓仪技术领域,尤其是一种3D光学轮廓仪,包括工作台,防护组件和放置台,所述工作台的上方设有主体,所述主体固定连接所述工作台,所述联动件贴合连接所述放置板,所述联动件位于联动杆的两端,所述联动件固定连接所述联动杆的上方,所述联动件嵌入活动连接所述凹槽的内部;最终保证了显微镜对光束干涉测量的准确性,进而保证了所转化的干涉条纹信号的准确性,从而提高测量的精度;最终使得工作人员能够快速便捷的调节镜面的角度,节省时间,从而提高了工作效率。
技术领域
本实用新型涉及光学轮廓仪技术领域,尤其涉及一种3D光学轮廓仪。
背景技术
光学轮廓仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,它是以白光干涉技术为原理,光源发出的光经过分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光最终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
现有的3D光学轮廓仪,运作时在装置光源发出两束光经过反射汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,但两束光反射的过程中极易受到外界的干扰,进而干扰干涉条纹信号准确性,从而影响最终的测量的精度;且在测量不同的物件时,需要调整镜面,保证两束光能发生干涉从而让显微镜产生干涉条纹信号,但面对不同的物件镜面调节需要不断地调试,进而浪费了时间,限制了工作效率。
实用新型内容
针对现有技术中对于存在的上述问题,现提供一种3D光学轮廓仪。
具体技术方案如下:
设计一种3D光学轮廓仪,包括工作台,防护组件和放置台,所述工作台的上方设有主体,所述主体固定连接所述工作台,所述主体的下方设有底盘,所述底盘固定连接所述工作台,所述底盘的上方设有所述放置台,所述放置台活动连接所述底盘,所述主体洞穿固定连接所述防护组件,所述防护组件位于所述放置台的上方,所述放置台的顶部开设有均匀分布的凹槽,所述凹槽的内部设有放置板,所述放置板活动连接所述放置台,所述放置板的下方设有联动件,所述联动件贴合连接所述放置板,所述联动件位于联动杆的两端,所述联动件固定连接所述联动杆的上方,所述联动件嵌入活动连接所述凹槽的内部。
优选的,所述防护组件的下方设有抗干扰罩,所述抗干扰罩固定连接所述防护组件,所述抗干扰罩的下方设有联动座,所述抗干扰罩固定连接所述联动座。
优选的,所述联动座的上方设有均匀分布的插杆,所述插杆洞穿活动连接所述防护组件的底部。
优选的,所述插杆的顶部设有联动端,所述联动端固定连接所述插杆,所述插杆的两侧设有限定件,所述限定件嵌入活动连接所述防护组件的内部。
优选的,所述联动端的下方设有复位件,所述复位件的下方设有联动环,所述复位件固定连接所述联动端,所述复位件固定连接所述联动环,所述联动环被插杆贯穿活动连接。
优选的,所述放置台的一侧设有调节钮,所述调节钮靠近所述放置台的一侧设有固定连接的衔接杆,所述衔接杆洞穿活动连接所述放置台。
优选的,所述衔接杆远离所述调节钮的一端设有啮合连接的齿条.所述齿条的上方设有固定连接的联动杆。
上述技术方案具有如下优点或有益效果:
1、通过设置的工作台和防护组件,在工作人员放置好被测量的物件至放置台的上方后,先推动联动座向上,再下拉,从而将折叠的抗干扰罩展开,隔绝外部光束的干扰,同时在测量完毕后重新将联动座向上拉起并和防护组件卡接,进而节省空间,最终保证了显微镜对光束干涉测量的准确性,进而保证了所转化的干涉条纹信号的准确性,从而提高测量的精度。
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