[实用新型]一种靶材打磨的辅助装置

说明书

本实用新型涉及一种靶材打磨的辅助装置，属于光伏电池生产技术领域。包括：打磨台为L形中空结构，打磨台底面与颗粒粉尘回收箱上表面连接，打磨台上表面与顶板连接，侧板与打磨台两端连接，打磨台上表面设有第一抽风口，第一抽风口内部安装有多孔板，打磨台前表面设有第二抽风口，第二抽风口内部安装有导流板，颗粒粉尘回收箱内腔底面安装有离心风机，离心风机输出端连接滤箱，滤箱背离离心风机一侧连接有密封板，密封板靠近离心风机一侧连接有滤筒，滤箱上表面连接排风管一端，排风管另一端从颗粒粉尘回收箱下表面延伸至其外部。本实用新型能够将靶材打磨清洁过程中所产的粉末和颗粒进行回收，避免了粉尘污染工作环境和工作人员伤害事故的发生。

技术领域

本实用新型涉及光伏电池生产技术领域，具体为一种靶材打磨的辅助装置。

背景技术

硅基异质结太阳能电池具有较高的转化效率、开路电压较高，无光致衰减(LID)、无电致衰减(PID)、具有低的温度系数、可双面发现等；制备工艺温度接近200℃。硅基异质结电池在保证高转化效率的同时，硅片厚度可减薄至100μm，有效减少了硅料耗量，并可用来制备可弯曲电池组件。硅基异质结太阳能电池成为一个可以和其他光伏电池相竞争的最具潜力的重要研究方向。硅基异质结太阳能电池的工艺主要流程包括制绒清洗、生长非晶硅薄膜(CVD沉积硼和磷)、双面溅射TCO透明导电膜、丝网印刷、测试分选等。

硅基异质结太阳能电池之所以工艺流程短、转换效率高，是因为在非晶硅薄膜上再沉积一层TCO膜层(透明导电膜层)，充当光生载流子的有效收集和传输载体。业内通过磁控溅射方法在非晶硅上沉积制备高质量的透明导电膜层，此膜层将p-n结两侧形成的光生载流子传输到金属电极上，同时起到降低光的反射和保护p-n结的作用。因此磁控溅射技术发展成当今主要的TCO沉积技术。伴随着市场对于产能和成本的需求，磁控溅射设备正在向大产能、低成本的路线发展，设备的更新迭代导致靶材与设备的匹配也在技术革新，那么要想制备出高性能的TCO膜层，就需要对薄膜沉积过程中使用的靶材的质量严格控制，主要涉及到到靶材本身材质的差异，更重要的是使用过程中靶材的物理稳定性。通常行业内的靶材在使用初期是相对稳定的，但在工作较长时间后，由于放电时间较长、腔体内部环境的不稳定、靶材本身含有的杂质，最终导致靶材表面形成如粗砂状的坚硬颗粒，称之为“结瘤”。靶材出现以上状况后，首先是硅片上镀膜外观存在明显的色差，降低膜层的均匀性影响到电池片的最终效率，其次是缩短了正常生产的周期，严重影响产能，出现大批量的不良低效等。

当靶材出现结瘤后，需要人工手动使用角磨机和金刚石砂纸进打磨清洁，而打磨的过程中会产生较多的靶材颗粒和粉末，溅射的靶材颗粒和粉末既会造成工作环境的污染，同时溅射的靶材颗粒可能会伤害到工作人员。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种靶材打磨的辅助装置，本实用新型的技术方案如下：

一种靶材打磨的辅助装置，其包括顶板、侧板、打磨台和颗粒粉尘回收箱，所述打磨台为L形的中空结构，打磨台底面与颗粒粉尘回收箱上表面连接，所述打磨台上表面与顶板连接，所述侧板与打磨台两端连接，所述打磨台上表面设有第一抽风口，所述第一抽风口内部安装有多孔板，所述打磨台前表面设有第二抽风口，所述第二抽风口内部安装有导流板，所述颗粒粉尘回收箱内腔底面安装有离心风机，所述离心风机输出端连接有滤箱，所述滤箱背离离心风机的一侧连接有密封板，所述密封板靠近离心风机的一侧连接有滤筒且滤筒位于滤箱内部，所述滤箱上表面连接排风管一端，排风管另一端从颗粒粉尘回收箱下表面延伸至其外部。

可选地，所述第一抽风口共设有三个，且三个所述第一抽风口等距分设于打磨台上表面。

可选地，所述第二抽风口共设有两个，且两个所述第二抽风口对称分设于打磨台前表面两侧位置处。

可选地，所述顶板下表面安装有照明灯。

可选地，所述离心风机共设有两个，且两个所述离心风机分设于颗粒粉尘回收箱内壁的底部两侧位置处。