[实用新型]一种磷化铟炉体电动翻转装置

说明书

本实用新型提供了一种磷化铟炉体电动翻转装置，包括炉体、炉架和电动翻转系统，所述炉体安装于炉架上，所述电动翻转系统固定于炉架一侧，电动翻转系统包括翻转机构、减速电机、伺服电机、限位板、行程开关以及行程开关撞板，所述减速电机内部设置有第一传动轴，所述伺服电机内部设有第二传动轴，所述第二传动轴输出端与减速电机输入端连接，通过伺服电机及减速电机组合实现炉体在竖直和水平之间进行切换，在运动过程中加入电气限位及机械限位，相较于传统翻转装置，更加精确且稳定安全，便于装炉和开炉，减轻操作人员的工作量，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及炉体结构技术领域，尤其涉及一种磷化铟炉体电动翻转装置。

背景技术

国家在开展第十四个五年规划中强调要加快数字发展，建设数字中国，而要加强数字创新的运用，首当其冲的便是聚焦高端芯片等核心材料的开发。磷化铟作为一种具电子飘逸速度高、抗辐射能力强、光电转换效率高的材料，在5G通信、数据中心、新一代显示、人工智能、无人驾驶、可穿戴设备、航天等领域具有广阔的应用空间。

磷化铟单晶制备技术要求高，目前能够批量化生产单晶的技术主要是垂直温度梯度凝固法(VGF)和垂直布里奇曼法(VB)。美国AXT公司与日本住友运用VGF与VB技术，生产出直径150mm的磷化铟单晶。国内磷化铟制备起步较晚，与国际水平存在较大的差距，同时由于产业规模较小，国内大尺寸磷化铟晶片产能不足。

磷化铟单晶的质量，很大程度上取决于是否可靠的装置以及规范的操作。目前，国内磷化铟单晶炉如图5所示，该磷化铟单晶炉依靠吊装设备操作实现磷化铟晶体炉的翻转，实际操作费事费力效率低下，且有概率由于操作不当导致磷化铟单晶受损。

实用新型内容

鉴于目前国内磷化铟单晶炉依靠吊装设备操作实现磷化铟晶体炉的翻转，实际操作费事费力效率低下，且有概率由于操作不当导致磷化铟单晶受损的问题，本实用新型专利提供一种磷化铟炉体电动翻转装置，包括炉体、炉架和电动翻转系统，炉体安装于炉架上，电动翻转系统固定于炉架一侧，电动翻转系统包括翻转机构、减速电机、伺服电机等，通过伺服电机与减速电机组合驱动，实现炉体稳定翻转，减少人员操作带来的不确定因素，保证磷化铟单晶出品的质量。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种磷化铟炉体电动翻转装置，包括炉体、炉架和电动翻转系统，所述炉体安装于炉架上，所述电动翻转系统固定于炉架一侧，电动翻转系统包括翻转机构、减速电机、伺服电机、手轮、电机固定架、限位板、行程开关以及行程开关撞板，所述减速电机内部设置有第一传动轴，所述伺服电机内部设有第二传动轴，所述第二传动轴输出端与减速电机输入端连接。

依照本实用新型的一个方面，所述炉体上设有炉体侧板。

依照本实用新型的一个方面，所述炉架两侧各设有一块炉架侧板，所述炉架侧板包括第一炉架侧板与第二炉架侧板，所述减速电机通过第一螺栓固定于第一炉架侧板上。

依照本实用新型的一个方面，所述翻转机构通过紧固件安装于炉架侧板上。

依照本实用新型的一个方面，所述手轮通过紧固件固定于所述减速电机第一传动轴输入端。

依照本实用新型的一个方面，所述电机固定架通过紧固件固定于所述减速电机上。

依照本实用新型的一个方面，所述第一行程开关通过螺纹连接固定于第二炉架侧板上。

依照本实用新型的一个方面，所述第二炉架侧板上还安装有第二行程开关。

依照本实用新型的一个方面，所述行程开关撞板通过螺纹连接固定于炉体侧板上。

依照本实用新型的一个方面，所述限位板通过螺栓固定连接于第二炉架侧板上。