[实用新型]一种立式炉轴向自动拉温装置

说明书

本实用新型提供了一种立式炉轴向自动拉温装置，包括H型支架、立式滑台和步进电机，传动丝杆的表面螺纹连接有螺母型固定支架，螺母型固定支架的表面安装有封装热电偶，H型支架一侧的延伸板处与步进电机螺纹连接，H型支架的底端安装有两个同步轮，两个同步轮之间传动安装有同步带，立式滑台一侧的顶部螺纹安装有上限位传感器，立式滑台一侧的底部螺纹安装有原点传感器和下限位传感器。本实用新型采用封装热电偶和立体滑台，立体滑台为钢带防尘密封，拉温时，有效减少了金属粒子和颗粒度的污染；采用独特的设计，拉温装置可以进行垂直安装固定，并根据实际情况，可以调节立式滑台离地的高度。

技术领域

本实用新型属于立式炉轴技术领域，涉及一种立式炉轴向自动拉温装置。

背景技术

立式炉温场均匀性是一项重要的技术指标，关系到工艺结果的好坏，影响成品(芯片或器件)的性能，温场均匀性涉及截面温度检测和轴向温度检测，截面温度采用TCWafer检测，轴向检测一直以来都没有成熟、稳定和灵活的检测装置。

参考附件：CN201721208586-一种自动拉温仪-实用新型。该专利设计的是卧式炉自动拉温区，热偶直接裸露，进入工艺腔内拉温时，存在金属污染、颗粒度污染等风险。

很多设备还是由手动拉温区，人工记录数据的方法。弊端：1)拉温活动的间隔精度低，2)拉温数据无法实时保存，人为因素影响大。

基于上述，我们提供一种立式炉轴向自动拉温装置。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种立式炉轴向自动拉温装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种立式炉轴向自动拉温装置，包括H型支架、立式滑台和步进电机，所述H型支架的中部与立式滑台固定连接，所述立式滑台的内部安装有传动丝杆，所述传动丝杆的表面螺纹连接有螺母型固定支架，所述螺母型固定支架的表面安装有封装热电偶，所述H型支架一侧的延伸板处与步进电机螺纹连接，所述H型支架的底端安装有两个同步轮，两个所述同步轮之间传动安装有同步带，两个所述同步轮分别与步进电机的输出端以及传动丝杆的连接端装配连接，所述立式滑台一侧的顶部螺纹安装有上限位传感器，所述立式滑台一侧的底部螺纹安装有原点传感器和下限位传感器。

在上述的一种立式炉轴向自动拉温装置中，所述H型支架的四个支脚处均安装有调节螺栓。

在上述的一种立式炉轴向自动拉温装置中，所述螺母型固定支架的一侧固定连接有挡片，所述挡片与上限位传感器、原点传感器和下限位传感器接触连接。

在上述的一种立式炉轴向自动拉温装置中，所述封封装热电偶是由石英管封装单点热电偶组成，所述立式滑台为钢带防尘密封滑台结构。

与现有技术相比，本实用新型一种立式炉轴向自动拉温装置的优点为：本使用新型采用封装热电偶和立体滑台，立体滑台为钢带防尘密封，拉温时，有效减少了金属粒子和颗粒度的污染；采用独特的设计，拉温装置可以进行垂直安装固定，并根据实际情况，可以调节立式滑台离地的高度；采用独立控制系统，可以独立拆卸，一套装置可以测试多台设备。

附图说明

图1是本实用新型一种立式炉轴向自动拉温装置的立体结构示意图。

图2是本实用新型一种立式炉轴向自动拉温装置图1的局部结构示意图。

图3是本实用新型一种立式炉轴向自动拉温装置图1的平面结构示意图。

图中，1、H型支架；2、立式滑台；3、调节螺栓；4、步进电机；5、螺母型固定支架；6、封装热电偶；7、上限位传感器；8、同步带；9、同步轮；10、传动丝杆；11、原点传感器；12、下限位传感器。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。