[实用新型]一种低温测试台用探针装置有效
申请号: | 202223131492.7 | 申请日: | 2022-11-24 |
公开(公告)号: | CN219417519U | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 徐中堂;李君;王晓艳 | 申请(专利权)人: | 合肥科沃真空科技有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R1/067;G01R31/00 |
代理公司: | 合肥中腾知识产权代理事务所(普通合伙) 34232 | 代理人: | 翟攀攀 |
地址: | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低温 测试 探针 装置 | ||
1.一种低温测试台用探针装置,包括样品台(1),其特征在于,所述样品台(1)上开设有用以放置样品的放置槽(2),所述样品台(1)上固定设置有竖板(3),所述竖板(3)上开设有螺纹孔(4),所述螺纹孔(4)中螺纹连接有螺栓(5),所述螺栓(5)上固定连接有可与样品活动相抵的固定板(6);
所述样品台(1)上固定连接有支架(7),所述支架(7)上开设有滑槽(8),所述滑槽(8)中滑动套设有滑块(9),所述滑块(9)通过轴承转动安装有延伸至支架(7)下方位置的转杆(10),所述转杆(10)上固定连接有安装块(11),所述安装块(11)上开设有第一导向槽(12),所述第一导向槽(12)中滑动套设有第一导向块(13),所述第一导向块(13)上固定连接有连接杆(14),所述连接杆(14)上固定连接有探针(15);
所述样品台(1)与支架(7)之间设置有用以驱使第一导向块(13)进行升降的升降机构。
2.根据权利要求1所述的一种低温测试台用探针装置,其特征在于,所述支架(7)为龙门架结构,所述滑块(9)上开设有用以安装轴承的通孔,所述通孔中设置有轴承固定件。
3.根据权利要求2所述的一种低温测试台用探针装置,其特征在于,所述转杆(10)位于支架(7)上方位置固定连接有把手,且转杆(10)纵向设置。
4.根据权利要求1所述的一种低温测试台用探针装置,其特征在于,所述升降机构包括固定安装于样品台(1)的电机(16),所述电机(16)输出端固定连接有滚珠丝杠(17),所述滚珠丝杠(17)上配套安装有螺母(18);
所述支架(7)上开设有开口(19),所述开口(19)内壁上通过轴承转动安装有转轴(20),所述转轴(20)上固定套装有驱动齿轮(21),所述螺母(18)上固定连接有与驱动齿轮(21)啮合连接的第一从动齿条(22),所述支架(7)上固定连接有安装杆(23),所述安装杆(23)上开设有第二导向槽(24),所述第二导向槽(24)中滑动套设有第二导向块(25),所述第二导向块(25)上固定连接有与驱动齿轮(21)啮合连接的第二从动齿条(26);
所述第一导向块(13)上固定连接有环块(27),所述环块(27)上开设有环槽(28),所述环槽(28)中滑动套设有第三导向块(29),所述第三导向块(29)与第二导向块(25)之间连接有牵引杆(30)。
5.根据权利要求4所述的一种低温测试台用探针装置,其特征在于,所述滚珠丝杠(17)通过轴承纵向转动安装于支架(7)上,所述第一从动齿条(22)与第二从动齿条(26)纵向设置。
6.根据权利要求5所述的一种低温测试台用探针装置,其特征在于,所述安装杆(23)纵向设置于支架(7)内底端位置,且第二导向槽(24)纵向开设于安装杆(23)上。
7.根据权利要求4所述的一种低温测试台用探针装置,其特征在于,所述环块(27)活动套设于安装块(11)上,且牵引杆(30)两端分别销轴连接于第三导向块(29)与第二导向块(25)上。
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