[实用新型]一种基于第二差分系统的等离子体制氢在线检测装置

权利要求书

1.一种基于第二差分系统的等离子体制氢在线检测装置，其特征在于，包括差分装置、抽真空装置和后处理装置，所述差分装置内设有分区器，所述差分装置通过分区器分为第一差分器和第二差分器，所述分区器设有准直孔，所述差分装置和设有等离子反应区的制氢装置固定连接，所述差分装置和制氢装置之间设有密封层，所述制氢装置设有取样壁，所述取样壁上设有取样孔，所述第一差分器设有连通孔，所述等离子反应区和第一差分器内的区域通过取样孔和连通孔连通，所述抽真空装置包括第一泵组和第二泵组，所述第一泵组和第一差分器连接，所述第二泵组和第二差分器连接，后处理器和差分装置连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于第二差分系统的等离子体制氢在线检测装置，其特征在于，所述第一泵组包括第一罗茨泵和第一分子泵，所述第二泵组包括第二罗茨泵和第二分子泵。

3.根据权利要求2所述的一种基于第二差分系统的等离子体制氢在线检测装置，其特征在于，所述第一罗茨泵和第一分子泵串联，所述第二罗茨泵和第二分子泵串联。

4.根据权利要求1或2所述的一种基于第二差分系统的等离子体制氢在线检测装置，其特征在于，所述第一差分器内的真空度比第二差分器内的真空度低。

5.根据权利要求1所述的一种基于第二差分系统的等离子体制氢在线检测装置，其特征在于，所述准直孔的直径和取样孔的直径相同或准直孔的直径比取样孔的直径大。

6.根据权利要求1或5所述的一种基于第二差分系统的等离子体制氢在线检测装置，其特征在于，所述准直孔的朝向均相同。

7.根据权利要求1或5所述的一种基于第二差分系统的等离子体制氢在线检测装置，其特征在于，所述取样孔的直径为100μm或大于100μm。

8.根据权利要求1所述的一种基于第二差分系统的等离子体制氢在线检测装置，其特征在于，所述后处理器包括取样器和质谱诊断器，所述取样器和第二差分器连接，所述取样器和质谱诊断器连接。

9.根据权利要求1所述的一种基于第二差分系统的等离子体制氢在线检测装置，其特征在于，还包括整合器，所述整合器是中空且上下开孔的容器，所述整合器内部设有整合部，所述整合器设在第一差分器内，所述整合器和第一差分器固定连接，所述整合器设在流通孔的上面。

10.根据权利要求1所述的一种基于第二差分系统的等离子体制氢在线检测装置，其特征在于，所述差分装置设有密封槽，所述密封层设在密封槽中。