[实用新型]一种单晶炉的加料对接机构有效

专利信息
申请号: 202222955044.2 申请日: 2022-11-07
公开(公告)号: CN218786679U 公开(公告)日: 2023-04-04
发明(设计)人: 蔡璋榕;郑珠兰 申请(专利权)人: 福建鑫睿晶学科技有限公司
主分类号: C30B15/02 分类号: C30B15/02;C30B29/06
代理公司: 福州旭辰知识产权代理事务所(普通合伙) 35233 代理人: 吴志龙
地址: 350100 福建省福州市闽侯县上街镇*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉 加料 对接 机构
【说明书】:

本实用新型公开了一种单晶炉的加料对接机构,属于单晶炉领域,一种单晶炉的加料对接机构,包括炉体,所述炉体内壁固定连接有保温桶,所述保温桶内壁固定连接有加热圈,所述加热圈内侧设置有坩埚,所述坩埚下侧设置有支撑板,所述炉体侧壁靠近顶面处固定连接有进料管,所述进料管贯穿炉体,所述进料管为倾斜设置,所述进料管侧壁设置有密封组件,所述进料管内活动连接有圆筒,所述圆筒内壁活动连接有送料管,所述送料管内设置有送料组件,所述圆筒下侧设置有移动组件,它可以实现,将送料管与炉体预留的进料管之间进行便捷固定,增加稳定性的同时又能起到密封效果,同时利用螺旋叶片可减少硅材料的残留。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域,更具体地说,涉及一种单晶炉的加料对接机构。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备;将硅材料经高温加热后,直拉生长至合适的长度,当单晶炉内的硅材料制备完毕后,为了节省能耗,通常会直接投入未融化的硅材料;

专利检索发现,公开号:CN212128337U的中国专利公开了一种单晶炉加料系统,该单晶炉可便于将硅材料快速输送至单晶炉中的坩埚中,从而实现便捷加料功能;

但在实际使用中,进料管道与单晶炉侧壁预留的进料管之间通常为接触式,在进料过程中,其密封性较差,一方面较小的硅材料会存在泄漏的概率,另一方面坩埚内的温度会通过缝隙散发,影响单晶炉内部的恒温效果,而且会存在一定的能耗浪费,并且在送料过程中,部分硅材料存在残留在进料管中的概率,影响下次进料的准确性。

实用新型内容

1.要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种单晶炉的加料对接机构,它可以实现,将送料管与炉体预留的进料管之间进行便捷固定,增加稳定性的同时又能起到密封效果,同时利用螺旋叶片可减少硅材料的残留。

2.技术方案

为解决上述问题,本实用新型采用如下的技术方案。

一种单晶炉的加料对接机构,包括炉体,所述炉体内壁固定连接有保温桶,所述保温桶内壁固定连接有加热圈,所述加热圈内侧设置有坩埚,所述坩埚下侧设置有支撑板,所述炉体侧壁靠近顶面处固定连接有进料管,所述进料管贯穿炉体,所述进料管为倾斜设置,所述进料管侧壁设置有密封组件,所述进料管内活动连接有圆筒,所述圆筒内壁活动连接有送料管,所述送料管内设置有送料组件,所述圆筒下侧设置有移动组件。

进一步的,所述密封组价包括固定板,所述固定板固定连接在炉体侧壁靠近顶面处,所述固定板顶面固定安装有伸缩杆,所述伸缩杆输出端贯穿固定板并与其活动连接,所述伸缩杆输出端固定连接有密封板,所述密封板底面贯穿进料管并与其相互匹配。

进一步的,所述圆筒侧壁靠近左端处对称固定连接有两个卡块,所述进料管右端端面对称开设有两个卡槽,所述卡块与卡槽活动连接,所述卡槽侧壁按顺时针方向开设有斜槽,所述圆筒侧壁固定连接有若干个拨杆。

进一步的,所述送料组件包括转轴,所述转轴与送料管内壁转动连接,所述转轴侧壁上固定连接有螺旋叶片,所述送料管右侧壁固定安装有电机,所述转轴右端贯穿送料管并与其电机输出轴固定连接,所述送料管侧壁靠近右端处固定连接有料箱。

进一步的,所述移动组件包括两个支板,所述圆筒贯穿支板并与其活动连接,所述炉体侧壁固定连接有横板,左侧所述支板与横板滑动连接,右侧所述支板与横板固定连接,右侧所述支板侧壁固定安装有电动推杆,所述电动推杆输出端与左侧支板固定连接,所述横板底面固定连接有加固板,所述加固板与炉体固定连接。

进一步的,所述横板顶面开设有限位槽,左侧所述支板与限位槽滑动连接。

3.有益效果

相比于现有技术,本实用新型的优点在于:

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