[实用新型]多工位掩膜板在线切换装置

说明书

本实用新型公开了多工位掩膜板在线切换装置，属于在线切换技术领域，其包括支撑底板和物料框，所述支撑底板的顶部固定连接有多级伸缩机构，所述物料框的数量为多个，多个物料框之间固定连接，多个物料框中均设有放料组件，且最下方物料框与多级伸缩机构之间固定连接。该多工位掩膜板在线切换装置，通过设置多级伸缩机构和推出机构，多级伸缩机构可以控制物料框上下运动，使得每个放料组件上不同的掩膜板可以与推出机构的位置对应，进而可以通过推出机构自动推出放料组件实现掩膜板推出使用，且多个掩膜板之间有序放置，可实现自动切换使用，而且通过放料组件避免了散乱放置，导致掉落或受到外力损坏的问题。

技术领域

本实用新型属于在线切换技术领域，具体为多工位掩膜板在线切换装置。

背景技术

光学掩模板是指在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构，在需要多个掩膜板分别使用的过程中，一般都是散落放置在桌面上，不仅容易受到外力作用掉落或者损坏，而且不便于快速自动切换，因此，研究一种新的多工位掩膜板在线切换装置来解决上述问题具有重要意义。

实用新型内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了多工位掩膜板在线切换装置，解决了在需要多个掩膜板分别使用的过程中，一般都是散落放置在桌面上，不仅容易受到外力作用掉落或者损坏，而且不便于快速自动切换的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：多工位掩膜板在线切换装置，包括支撑底板和物料框，所述支撑底板的顶部固定连接有多级伸缩机构，所述物料框的数量为多个，多个物料框之间固定连接，多个物料框中均设有放料组件，且最下方物料框与多级伸缩机构之间固定连接，最下方物料框的右侧位置对应设有推出机构，所述推出机构固定安装在支撑底板的上方。

作为本实用新型的进一步方案：所述推出机构包括电动推杆，所述电动推杆嵌设安装在两个固定板中，两个固定板固定连接在支撑底板的上方。

作为本实用新型的进一步方案：所述电动推杆的伸缩端与推料板之间固定连接，所述推料板的大小与物料框的内腔开口相适配。

作为本实用新型的进一步方案：所述放料组件包括放料板，所述放料板内置在物料框中，所述放料板的上方开设有放料口。

作为本实用新型的进一步方案：所述放料板右侧的两个凸起端滑动连接在两个导向槽中，两个导向槽相对开设在物料框的两个侧壁上。

作为本实用新型的进一步方案：所述放料板的两个凸起端均固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧远离放料板凸起端的一端与导向槽内壁的一侧固定连接。

有益效果

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于

1、该多工位掩膜板在线切换装置，通过设置多级伸缩机构和推出机构，多级伸缩机构可以控制物料框上下运动，使得每个放料组件上不同的掩膜板可以与推出机构的位置对应，进而可以通过推出机构自动推出放料组件实现掩膜板推出使用，且多个掩膜板之间有序放置，可实现自动切换使用，而且通过放料组件避免了散乱放置，导致掉落或受到外力损坏的问题。

2、该多工位掩膜板在线切换装置，通过设置复位弹簧，复位弹簧的弹性力可以控制放料板复位，使得放料板顺利缩回物料框中，进而便于掩膜板的自动收纳作业。

3、该多工位掩膜板在线切换装置，通过设置放料板和放料口，使得掩膜板可以与放料口之间嵌合，避免掩膜板移动导致与放料板脱离的问题，同时放料板的凸起端可以避免放料板脱出导向槽的问题。

附图说明

图1为本实用新型立体的结构示意图；

图2为本实用新型物料框立体的剖面结构示意图；

图3为本实用新型推料板立体的结构示意图；