[实用新型]一种闸阀状态检测机构

说明书

本实用新型提供了一种闸阀状态检测机构，包括有设置在闸阀上方的金属感应板，闸阀顶部设置有用于支撑金属感应板的弹性件，闸阀顶部设置有金属感应器，金属感应器设置在金属感应板的下方。在闸阀关闭时，触碰到异物后，金属感应板下降，金属感应器被触发，闸阀停止作动或复位，防止异物被夹碎，四散至周边，甚至掉落到腔体里，对腔体中的零部件造成损伤；同样可防止异物被夹碎或掉落后，设备仍继续作动，对后续工艺造成影响，从而降低破损对设备内部造成损伤的几率，降低对制程影响，减少宕机造成的设备稼动率影响。同样能够防止闸阀异常关闭时，对人员造成的重大伤害或持续性伤害，防止机械手的损坏。

技术领域

本实用新型涉及面板制程生产设备技术领域，特别指一种闸阀状态检测机构。

背景技术

目前在显示面板制程中，大量使用Gate Valve(闸阀)机构。Gate Valve机构通常由一个封板和驱动封板升降的气缸组成。封板设置在制程腔室的进出口处。封板上升时，使制程腔室形成一个密闭的空间。封板下降时，制程腔室打开。例如中国专利申请号CN201811270925.2公开了一种显示模组的贴合方法及显示模组，该显示模组的贴合方法包括：将触控显示面板、盖板放入真空的制程腔室中，在所述触控显示面板的第一面的周缘涂布框胶，将所述盖板放置在所述触控显示面板的第一面上，对所述框胶进行固化，以使所述触控显示面板与所述盖板贴合，得到显示模组；对所述制程腔室进行破真空；将所述显示模组从所述制程腔室中取出，以在大气压力的作用下使所述盖板靠近所述触控显示面板，使所述盖板与所述触控显示面板之间的间距位于预设范围内。

上述专利中的显示模组的贴合，即是显示面板制程中的一个步骤。在将面板置于制程腔室内后，就需要通过Gate Valve，封闭制程腔室。

而Gate Valve的使用中，在其关闭时，对上方是否存在异物等无检测手段，在异常作动、讯号通讯，或异物停留在Gate Valve上方等原因时，容易发生夹到异物、机械手、人员的风险，从而造成较大的财产损失、稼动率影响以及造成人员受伤。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题，在于提供一种闸阀状态检测机构，在闸阀关闭时，对其是否有夹到异物进行检测，以防止闸阀在触碰到异物、机械手或人手后，闸阀仍在继续作动，从而避免设备、人员造成较大损伤。

本实用新型是这样实现的：一种闸阀状态检测机构，包括有设置在闸阀上方的金属感应板，所述闸阀顶部设置有用于支撑金属感应板的弹性件，所述闸阀顶部设置有金属感应器，所述金属感应器设置在金属感应板的下方，所述金属感应器与控制器连接，金属感应器感应到金属感应板后，金属感应器向控制器发出讯号，使闸阀停止作动或复位。

进一步的，所述弹性件至少设置有两个。

进一步的，所述金属感应器设置在闸阀顶部的中心处，所述弹性件以金属感应器为中心对称设置在金属感应板的左右两侧。

进一步的，所述弹性件为弹簧。

进一步的，所述金属感应板的材质为氧化铝。

进一步的，所述金属感应器的数量至少设置有一个。

本实用新型的优点在于：

1、在闸阀关闭时，触碰到异物(例如玻璃基板)后，金属感应板下降，金属感应器被触发，闸阀停止作动或复位，防止异物被夹碎，四散至周边，甚至掉落到腔体里，对腔体中的零部件造成损伤；同样可防止异物被夹碎或掉落后，设备仍继续作动，对后续工艺造成影响，从而降低破损对设备内部造成损伤的几率，降低对制程影响，减少宕机造成的设备稼动率影响。

2、人员或机械手在闸阀处作业，闸阀异常关闭时，本检测机构触发，闸阀停止作动或复位，防止闸阀触碰到人员身体或机械手后，仍继续作动，对人员或机械手造成重大伤害或持续性伤害。

附图说明

下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的说明。