[实用新型]一种多尺寸掩模曝光花篮

说明书

本实用新型公开了一种多尺寸掩模曝光花篮，包括框体，框体的内壁两侧相对活动连接有若干U形槽，U形槽的内部等距转动连接有若干挤压辊，U形槽靠近框体内壁一侧活动连接有连接板，连接板远离U形槽一侧中部固定连接有传动杆，传动杆位于框体外部一端套设有定位套，本实用新型具有以下优点：本装置在框体的内部设有多个相对的且能够活动的U形槽，放置掩模时，将掩模板插入挤压辊的梯形槽中，利用一号弹簧与传动杆的活动，对掩膜板进行挤压夹持，不同大小的掩膜板存放时，将传动杆移动至不同位置，可大致调节相对的两个U形槽之间的间距，方便根据掩膜板的大小进行调节。

技术领域

本实用新型涉及掩模安装结构技术领域，具体涉及一种多尺寸掩模曝光花篮。

背景技术

掩模是光刻工艺不可缺少的部件，掩模上承载有设计图形，光线透过它，把设计图形透射在光刻胶上，投影式曝光中使用的掩模又被称为倍缩式掩模，在掩模曝光时，需要使用到花篮对掩模进行存放。

申请号为CN201922306702.3的中国专利“一种掩模版清洗花篮”中，其对掩模的夹持是通过对支撑杆的移动，利用支撑杆上的梯形卡槽实现对掩模夹持限位的，然而，在对不同大小的掩模进行夹持时，只有最大型号的掩模会被夹持，而较小的掩模则会松动甚至是脱落，无法放置不同大小的掩模。

实用新型内容

本实用新型解决技术问题采用的技术方案是：一种多尺寸掩模曝光花篮，包括框体，所述框体的内壁两侧相对活动连接有若干U形槽，所述U形槽的内部等距转动连接有若干挤压辊，所述U形槽靠近框体内壁一侧活动连接有连接板，所述连接板远离U形槽一侧中部固定连接有传动杆，所述传动杆位于框体外部一端套设有定位套。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述U形槽的外壁中部开凿设有梯形槽。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述U形槽靠近连接板的一侧固定连接有若干一号弹簧，所述一号弹簧远离U形槽的一端与连接板固定连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述连接板远离U形槽的一侧两端固定连接有限位杆，所述限位杆与框体插接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述传动杆的侧壁等距开凿设有若干插孔，所述定位套相对插孔的位置插接有T形插杆，所述T形插杆的横板与定位套的外壁之间固定连接有二号弹簧。

本实用新型具有以下优点：本装置在框体的内部设有多个相对的且能够活动的U形槽，放置掩模时，将掩模板插入挤压辊的梯形槽中，利用一号弹簧与传动杆的活动，对掩膜板进行挤压夹持，不同大小的掩膜板存放时，将传动杆移动至不同位置，可大致调节相对的两个U形槽之间的间距，方便根据掩膜板的大小进行调节。

附图说明

图1是本实用新型一优选实施例的立体结构示意图；

图2是本实用新型一优选实施例的U形槽的连接结构示意图；

图3是本实用新型一优选实施例的A处放大结构示意图。

附图标记说明：1、框体；2、U形槽；3、挤压辊；4、一号弹簧；5、连接板；6、传动杆；7、插孔；8、定位套；9、T形插杆；10、二号弹簧；11、限位杆；12、梯形槽。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。