[实用新型]一种平面压电模块

权利要求书

1.一种平面压电模块，其特征在于，包含：

一基板结构，包含一第一绝缘层以及一图案化导电层，该图案化导电层设置于该第一绝缘层上，具有一绝缘区、一第一导电区以及一第二导电区，该绝缘区设置于该第一导电区与该第二导电区之间，该第一导电区具有多个开槽；以及

至少一压电元件，至少设置于该图案化导电层的该第一导电区上。

2.如权利要求1所述的平面压电模块，其特征在于，该至少一压电元件包含一压电材料层、一第一导电层以及一第二导电层，该压电材料层具有相对的一第一侧与一第二侧，该第一侧面向该图案化导电层，该第一导电层设置于该压电材料层的该第一侧。

3.如权利要求2所述的平面压电模块，其特征在于，该第二导电层设置于该第二侧上。

4.如权利要求3所述的平面压电模块，其特征在于，该平面压电模块更包括一导通线路，该第一导电区对应位于该压电材料层的该第一侧的该第一导电层设置，该第二导电区通过该导通线路电性连接至位于该压电材料层的该第二侧的该第二导电层。

5.如权利要求2所述的平面压电模块，其特征在于，该压电材料层更包含一侧面，该侧面连接该第一侧与该第二侧，该第一导电层设置于该第一侧的一第一部分，该第二导电层设置于该第二侧、该侧面及该第一侧的一第二部分。

6.如权利要求5所述的平面压电模块，其特征在于，该第一导电区对应位于该第一部分的该第一导电层设置，该第二导电区对应位于该第二部分的部分该第二导电层设置。

7.如权利要求1所述的平面压电模块，其特征在于，该平面压电模块更包含一焊料层，该至少一压电元件通过该焊料层设置于该图案化导电层上。

8.如权利要求1所述的平面压电模块，其特征在于，该平面压电模块更包含一接合层，该至少一压电元件通过该接合层设置于该图案化导电层上。

9.如权利要求1所述的平面压电模块，其特征在于，该平面压电模块更包含一接合层，该至少一压电元件包含一压电材料层，该压电材料层具有一第一侧、相对该第一侧的第二侧以及连接该第一侧与该第二侧的一侧面，该接合层至少包覆部分该第一侧以及部分该侧面。

10.如权利要求9所述的平面压电模块，其特征在于，该接合层填设于该些开槽内。

11.如权利要求1所述的平面压电模块，其特征在于，该平面压电模块更包含一第二绝缘层，该第二绝缘层至少填设于该些开槽以及该绝缘区内。

12.如权利要求1所述的平面压电模块，其特征在于，该些开槽的分布呈线对称图形。

13.如权利要求1所述的平面压电模块，其特征在于，该些开槽的分布呈轴对称图形。

14.如权利要求1所述的平面压电模块，其特征在于，该基板结构更包含一第一刚性层，该第一刚性层设置于该第一绝缘层的远离该图案化导电层的一侧。

15.如权利要求14所述的平面压电模块，其特征在于，该基板结构更包含一第二刚性层，该第二刚性层设置于该第一刚性层的远离该第一绝缘层的一侧，且该第一刚性层与该第二刚性层的材料不同或相同。

16.如权利要求1所述的平面压电模块，其特征在于，该平面压电模块更包含一保护层，至少覆盖该压电元件及该基板结构。