[实用新型]高效N型单晶硅的单晶炉

权利要求书

1.高效N型单晶硅的单晶炉，其特征在于，包括：

安装炉(1)，固设在地面上；

加热炉(2)，其内壁上沿其圆周阵列构造有多个竖直设置的导流槽(3)，所述加热炉(2)内安装有沿导流槽(3)竖直滑动的环形刮板(4)，所述环形刮板(4)上构造两个相对设置的导向块(5)；

驱动组件(6)，固设在加热炉(2)上，且用于驱动导向块(5)上下移动；

清灰组件(7)，包括固定连接在加热炉(2)内上下两端的环形吸气管(8)，所述环形吸气管(8)之间固定连通有连接管(9)，所述加热炉(2)外侧固定安装有与环形吸气管(8)相连通的抽气过滤件(10)。

2.根据权利要求1所述的高效N型单晶硅的单晶炉，其特征在于，所述导流槽(3)的横截面均为弧形且多个导流槽(3)首尾相接以形成环形波浪状，所述环形刮板(4)外圆周侧固定连接有多个滑动安装在导流槽(3)内的钢丝刷头(401)。

3.根据权利要求1所述的高效N型单晶硅的单晶炉，其特征在于，所述驱动组件(6)包括固定安装在加热炉(2)外侧的驱动电机(601)，所述驱动电机(601)的输出轴转动贯穿加热炉(2)，所述加热炉(2)内部构造有支撑块(602)，所述支撑块(602)上转动安装有沿加热炉(2)高度方向设置的螺杆(603)，所述螺杆(603)上固定套设有传动锥齿轮(604)，所述驱动电机(601)的输出轴上固定连接有与传动锥齿轮(604)相啮合的驱动锥齿轮(605)，其中一个所述导向块(5)螺纹套设在螺杆(603)上。

4.根据权利要求1所述的高效N型单晶硅的单晶炉，其特征在于，另一个所述导向块(5)滑动套设在连接管(9)上。

5.根据权利要求1所述的高效N型单晶硅的单晶炉，其特征在于，两个所述环形吸气管(8)均包括环形方管(801)，两个所述环形方管(801)的相对侧均沿其圆周阵列构造有多个与导流槽(3)数量一致的进气孔(802)，所述环形方管(801)的内周侧均沿其圆周阵列构造有多个吸气孔(803)。

6.根据权利要求1所述的高效N型单晶硅的单晶炉，其特征在于，所述抽气过滤件(10)包括固定安装在加热炉(2)外侧的抽气泵(1001)和固定安装在加热炉(2)与安装炉(1)侧面的过滤箱(1002)，所述抽气泵(1001)一端贯穿加热炉(2)且与环形吸气管(8)相连通，所述抽气泵(1001)另一端与过滤箱(1002)底部相连通。

7.根据权利要求6所述的高效N型单晶硅的单晶炉，其特征在于，所述过滤箱(1002)包括通过支撑架安装在加热炉(2)与安装炉(1)侧面的箱体(10021)，所述箱体(10021)一侧水平插设有位于其中部的过滤板(10022)，所述箱体(10021)一侧构造有位于过滤板(10022)下方设置的加水管(10023)，所述加水管(10023)上安装有控制阀(10024)。

8.根据权利要求7所述的高效N型单晶硅的单晶炉，其特征在于，所述箱体(10021)侧面构造有插接口(10025)，所述箱体(10021)内壁上构造有与插接口(10025)相对设置的U型槽板(10026)，所述过滤板(10022)贯穿插接口(10025)且插设在U型槽板(10026)内，所述U型槽板(10026)内固定连接有用于抵触过滤板(10022)的橡胶条。