[实用新型]一种用于质谱仪的可调片间电压的微通道板检测器装置

权利要求书

1.一种用于质谱仪的可调片间电压的微通道板检测器装置，其特征在于，包括栅网、第一片微通道板、第二片微通道板、接收极和片间电压调节电路，质谱仪送出的离子依次经过栅网、第一片微通道板、第二片微通道板后被所述接收极接收，栅网接直流电源，所述片间电压调节电路包括依次串联的第一高压电源、第一电阻、可变电阻、第二电阻、第二高压电源，第一高压电源和第二高压电源之间有电势差，所述第一片微通道板的前后面与所述第一电阻并联，所述第二片微通道板的前后面与所述第二电阻并联。

2.根据权利要求1所述的用于质谱仪的可调片间电压的微通道板检测器装置，其特征在于，所述用于质谱仪的可调片间电压的微通道板检测器装置还包括法兰、旋转杆和密封圈，所述栅网、第一片微通道板、第二片微通道板、接收极和片间电压调节电路设置在真空室内，所述法兰固定设置在真空室上，所述法兰具有供旋转杆穿过的通孔，所述密封圈固定设置在所述法兰上并位于所述旋转杆的外周，所述可变电阻为旋转式可变电阻，所述旋转杆与所述可变电阻连接。

3.根据权利要求1所述的用于质谱仪的可调片间电压的微通道板检测器装置，其特征在于，所述栅网、第一片微通道板、第二片微通道板、接收极设置在真空室内，所述可变电阻设置在大气中。

4.根据权利要求1所述的用于质谱仪的可调片间电压的微通道板检测器装置，其特征在于，所述第一片微通道板、第二片微通道板两端的前后面接触有金属片。